[发明专利]光刻胶收集装置自动清洗系统

权利要求书

1.一种光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：包括清洗液罐(1)、收集装置(2)、集液箱(3)、导液管(5)、第一泵体(6)、超声波清理装置(8)、滤网(10)、循环管(11)、PLC控制系统(13)、触摸屏(14)和喷嘴(16)，所述清洗液罐(1)顶端设置有进液口(4)，所述清洗液罐(1)右侧上设置有所述导液管(5)；所述导液管(5)一端与所述清洗液罐(1)相通，另一端设置有第一泵体(6)；所述第一泵体(6)一端设置有输送管(7)，所述输送管(7)穿过所述收集装置(2)外壳以设置在所述收集装置(2)内部，所述收集装置(2)顶端设置有箱盖(19)，箱盖(19)底部设置有密封垫(21)，所述箱盖(19)上左侧设置有合页(20)，箱盖上设置有电磁锁(22)，所述输送管(7)上设置有通管(15)，所述通管(15)底端设置有喷嘴(16)；所述收集装置(2)内部侧壁设置有超声波清理装置(8)；所述收集装置(2)右侧设置有排液管(9)，所述排液管(9)一端与所述收集装置(2)相通，另一端与所述集液箱(3)相通；所述集液箱(3)内部设置于滤网(10)，集液箱(3)底端左侧设置有所述循环管(11)，所述循环管(11)上设置有第二泵体(12)。

2.根据权利要求1所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述收集装置(2)上设置有观察口(17)，观察口一侧设置有PLC控制系统(13)。

3.根据权利要求2所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述PLC控制系统(13)上设置有触摸屏(14)，所述PLC控制系统(13)与所述触摸屏(14)电性连接，所述电磁锁(22)与PLC控制系统(13)电性连接。

4.根据权利要求1所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述收集装置(2)底端设置有导流板(18)。

5.根据权利要求1所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述超声波清理装置(8)设置在所述收集装置(2)内部的至少两侧侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述喷嘴(16)设置有多个，并等间距的通过所述通管(15)设置在所述输送管(7)上。

7.根据权利要求2所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述第一泵体(6)、第二泵体(12)和超声波清理装置(8)与所述PLC控制系统(13)电性连接。

8.根据权利要求4所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述导流板(18)采用倾斜设置，并与所述排液管(9)相对应。

9.根据权利要求1所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述清洗液罐(1)、收集装置(2)和集液箱(3)内部均设置有防锈涂层。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的光刻胶收集装置自动清洗系统，其特征在于：所述循环管(11)的一端与所述集液箱(3)相通，另一端与所述清洗液罐(1)底部相通。