[发明专利]获取超纯氢气的方法和装置

权利要求书

1.一种获取超纯氢气的方法，用于对工业氢进行提纯而得到超纯氢气，其特征在于：所述获取超纯氢气的方法为：滤除所述工业氢中的颗粒杂质而得到一级中间气体，常温吸附脱除所述一级中间气体中的二氧化碳和水而得到二级中间气体，液氮洗涤脱除所述二级中间气体中的一氧化碳和氩气而得到三级中间气体，低温吸附所述三级中间气体中的氮气和氧气而得到超纯氢气。

2.根据权利要求1所述的获取超纯氢气的方法，其特征在于：冷却所述一级中间气体后再进行常温吸附。

3.根据权利要求1所述的获取超纯氢气的方法，其特征在于：冷却所述二级中间气体后再进行液氮洗涤；复热所述超纯氢气，将复热后的所述超纯氢气作为产品送出；将液氮洗涤产生的污液氮复热后用作常温吸附和低温吸附的再生气。

4.根据权利要求4所述的获取超纯氢气的方法，其特征在于：复热后的所述污氮气再经加热后用作常温吸附和低温吸附的再生气。

5.根据权利要求1所述的获取超纯氢气的方法，其特征在于：利用液氮为所述低温吸附提供所需冷量。

6.一种获取超纯氢气的装置，用于对工业氢进行提纯而得到超纯氢气，其特征在于：所述获取超纯氢气的装置包括：

用于滤除所述工业氢中的颗粒杂质而得到一级中间气体的过滤器；

用于常温吸附脱除所述一级中间气体中的二氧化碳和水而得到二级中间气体的常温吸附系统；

用于液氮洗涤脱除所述二级中间气体中的一氧化碳和氩气而得到三级中间气体的液氮洗涤塔；

用于低温吸附所述三级中间气体中的氮气和氧气而得到超纯氢气的低温吸附系统。

7.根据权利要求6所述的获取超纯氢气的装置，其特征在于：所述获取超纯氢气的装置还包括用于冷却所述一级中间气体的冷却器。

8.根据权利要求6所述的获取超纯氢气的装置，其特征在于：所述获取超纯氢气的装置还包括用于冷却所述二级中间气体、复热所述超纯氢气、复热由所述液氮洗涤塔产生的污液氮使其成为接入所述常温吸附系统和所述低温吸附系统用作再生气的污氮气的换热器。

9.根据权利要求8所述的获取超纯氢气的装置，其特征在于：所述获取超纯氢气的装置还包括：

用于加热复热后的所述污氮气并将加热后的所述污氮气接入所述常温吸附系统作为再生气的第一加热器；

用于加热复热后的所述污氮气并将加热后的所述污氮气接入所述低温吸附系统作为再生气的第二加热器。

10.根据权利要求6所述的获取超纯氢气的装置，其特征在于：所述低温吸附系统接入为其提供所需冷量的液氮。