[发明专利]用于确定至少一个用于补偿对传感器系统的测量值的温度影响的温度补偿参数的方法

说明书

本发明涉及用于确定用于补偿对传感器系统的测量值的温度影响的温度补偿参数的方法，传感器系统包括传感器单元、温度传感器单元、信号处理单元，确定温度补偿参数和补偿对传感器单元的测量值的温度影响。方法包括监测传感器单元的测量情况且确定是否当前测量情况相应于参考测量情况；监测传感器单元的温度且确定是否当前的温度位于在预先确定的温度范围内；在预先确定的温度范围内检测至少两个不同的温度值，且如果当前的测量情况相应于参考测量情况，检测传感器测量参量的各自所属的测量值；基于传感器测量参量X的至少一个参考测量值、至少两个不同的温度值和传感器测量参量X的所属的测量值确定至少一个温度补偿参数。本发明涉及传感器系统。

技术领域

本发明涉及一种用于确定至少一个用于补偿对传感器系统的测量值的温度影响的温度补偿参数的方法。此外，本发明还涉及一种MEMS传感器系统，其构成为实施该方法。

背景技术

已知传感器系统、特别是MEMS传感器系统的传感器面的连续微型化导致如下技术挑战：例如微控制器集成到传感器系统中用于覆盖不同的应用情景，或者传感器测量结果的温度限定的偏移和敏感度不准确性的构件个体的校正。

传感器单元的温度影响可以导致传感器单元的测量结果的温度限定的不准确性。当前，这样的不准确性可以通过利用适合的参考传感器系统的测量结果——其用作参考值——对于个别的温度支撑点对相应的传感器系统的测量结果进行调整来校正。这样的利用参考传感器系统的调整但是忽视了个体因素的影响，例如各个传感器系统的制造限定的个体的特征，其可以导致附加的测量不准确性。

成本限定地，在工厂中制造期间仅仅可以对于个别的温度支撑点进行当前用于校正温度限定的测量不准确性的测量。对于仅仅个别的温度支撑点的这样的测量然而不足以实现全面校正。

因此存在温度限定的测量不准确性的、个体的和可匹配于各个系统的校正的必要性，其基于个体的因素和大量温度支撑点的考虑符合对当前传感器系统的要求。

发明内容

本发明基于的目的可以视为在于，提供一种用于适应地补偿对传感器系统的测量值的温度影响的有效的方法和相应的传感器系统，该传感器系统构成为实施这样的方法。

该目的借助根据本发明的技术方案的相应的内容解决。本发明有利的设计方案是各自优选的实施方式的内容。

根据本发明的第一方面提供一种用于确定至少一个用于补偿对传感器系统的测量值的温度影响的温度补偿参数的方法，其中，传感器系统至少包括：

a.传感器单元，其用于检测传感器测量参量的测量值；

b.温度传感器单元，其用于检测传感器单元的温度；

c.信号处理单元，其用于确定至少一个温度补偿参数和用于补偿对传感器单元的测量值的温度影响；

其中，该方法包括：

о对传感器单元的测量情况进行监测，且确定当前测量情况是否相应于如下的参考测量情况：对于该参考测量情况传感器测量参量的至少一个参考测量值是已知的；

о对传感器单元的温度进行监测，且确定当前的温度是否处在预先确定的温度范围内；

о在预先确定的温度范围内检测至少两个不同的温度值，且如果当前的测量情况相应于参考测量情况，那么检测传感器测量参量的所属的相应的测量值；

о基于传感器测量参量的至少一个参考测量值、至少两个不同的温度值和传感器测量参量的所属的测量值来确定至少一个温度补偿参数。

根据本发明的方法实现如下可能性：即在连续运行中、即在应用情况下确定构件特定的温度补偿参数，且如果期望，总是又将其更新。基于该温度补偿参数那么可以进行对测量值的温度影响的补偿，该补偿不仅考虑构件特定的特性而且考虑在使用寿命上的变化。根据本发明的方法那么就是对传感器系统在工厂方面的校准的替代或至少补充。