[发明专利]一种内置真空传感器的便携式仪器分子泵有效

专利信息
申请号: 202011255030.9 申请日: 2020-11-11
公开(公告)号: CN112483433B 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 陈元;戴梦杰;侍尉;刘宇峰;蒋公羽;姚如娇;庞骏德;朱勇勇 申请(专利权)人: 上海裕达实业有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D27/00;H01J49/24
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 李佳俊;郭国中
地址: 200245 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 内置 真空 传感器 便携式 仪器 分子
【权利要求书】:

1.一种内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,包括涡轮分子泵、压力传感器、感应发电装置以及无线传输模块,其中:

压力传感器设置有多个,多个压力传感器设置在涡轮分子泵的腔室内侧;

所述感应发电装置依靠涡轮分子泵内部的叶片转动的能量感应发电,感应发电装置为所述压力传感器供能;

无线传输模块将压力传感器测定的数据传输至质谱仪控制主机;

所述涡轮分子泵体(202)内部加装多个压力传感器形成的传感器阵列(203),同时测量多组真空度数据,根据距离与真空度的对应关系拟合更准确的函数曲线,推算出真空腔室内的实时真空度;

所述压力传感器至少设置有两个,且压力传感器在气流运动方向上具有间隔。

2.根据权利要求1所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,所述涡轮分子泵包括中轴固定的转子,转子上固定有动叶片,涡轮分子泵外壳内表面设置有定叶片,动叶片和定叶片沿转子周向方向间隔分布。

3.根据权利要求2所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,所述压力传感器设置在涡轮分子泵的内表面且与定叶片、动叶片无接触。

4.根据权利要求1所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,还包括用于抽取真空的前级泵。

5.根据权利要求1所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,所述压力传感器包括气压测定元件和无线发信器,气压测定元件将测得的数据通过无线发信器传输到质谱仪的控制主机中。

6.根据权利要求2所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,所述动叶片、定叶片与中轴的轴向方向垂直。

7.根据权利要求2所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,在所述动叶片上安装微型磁铁,在动叶片附近空余的位置安装磁感应线圈。

8.根据权利要求7所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,还包括整流滤波器,磁感应线圈中产生的电流经整流滤波器整合,形成稳定电流为压力传感器供能。

9.根据权利要求1所述的内置真空传感器的便携式仪器分子泵,其特征在于,所述无线传输模块包括蓝牙、NFC或者wifi。

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