[发明专利]一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手

说明书

一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手，其设置在进料舱或出料舱中，将进料舱的挂板传送到输运舱或将输运舱的成品挂板传送到出料舱，其由动力组、直线模组和夹紧组件三部分组成；夹紧组件竖向设置，其为一三层结构，包括中间的移动安装板、底层的底固定板，以及最前面的滑动爪部分，移动安装板滑动安装在一横置的导轨上，该导轨又可横向滑动的安装在底固定板上，移动安装板设有推动块，该推动块位于横置导轨两侧的限位块之间，与它们形成相抵结构，且该推动块位于移动安装板远离输运舱的一侧；动力组与直线模组相连，直线模组与移动安装板相连。本发明机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。

技术领域

本发明涉及大型真空镀膜机内，特别是多舱配置的大型真空镀膜机内，负责完成大型工件挂板自动传送任务的一种机械手。

背景技术

真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。为提高产能和效率，设备设计越来越大，装载量越来越多，单个工件挂具(多个工件挂装在挂具上一起完成镀膜)也越大越重；为提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是每炉镀膜包括装卸工件都在真空中进行不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。因此，近年来真空镀膜设备发展方面，一方面大型化，一方面是多舱化。

多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与进料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从进料舱送入工艺舱(镀膜工艺舱室的简称)，镀膜工艺完成后，再在真空状态下把工件移出到出料舱。设备的大型化，使装挂工件的挂具数量多，挂具体积大，装挂上工件后的挂具重量很重。这些挂具在真空状态下传送转舱，必须靠机械手完成。

为适应当前真空镀膜设备的发展趋势，研制真空机械手是当务之急。因为真空镀膜机的镀膜工件材质、大小、形状各异，所用工件挂具的大小、形状、数量也不同，另外，不同型号真空镀膜机的预备舱(主要指进料仓和出料仓)、过渡舱(用于连通进、出料仓与工艺舱)和工艺舱的设计也会不同，与之适应的挂具的传送方式也会有不同，因此机械手的动作和功能不尽相同，故机械手的设计五花八样。对于炉内可挂二十多块大尺寸、重量重的矩形平板式挂具(挂具尺寸300mmx1500mmx35mm，挂满工件时，重40kg左右)的大型真空镀膜设备，目前还没有能完成工件挂板自动传送任务的机械手。

发明内容

本发明的发明目的是，提供一种用于大型多舱室真空镀膜机内大型挂板传送的侧机械手，该机械手用于将进料舱的挂板传送到输运舱或将输运舱的成品挂板传送到出料舱，即该机械手需要跨舱传送。

本发明的发明目的通过如下技术方案实现：一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手，其设置在进料舱或出料舱中，用于将进料舱的挂板传送到输运舱或将输运舱的成品挂板传送到出料舱，其由动力组、直线模组和夹紧组件三部分组成；

所述夹紧组件竖向设置，其为一三层结构，包括中间的移动安装板、底层的底固定板，以及最前面的滑动爪部分，所述移动安装板滑动安装在一横置的导轨上，该导轨又可横向滑动的安装在所述底固定板上，即移动安装板通过双重导轨滑动安装在所述底固定板上，所述移动安装板设有推动块，该推动块位于横置导轨两侧的限位块之间，与它们形成相抵结构，且该推动块位于移动安装板远离输运舱的一侧；

所述动力组与所述直线模组相连，所述直线模组与所述移动安装板相连，所述动力组提供动力，通过所述直线模组驱动所述移动安装板做直线往复运动；

所述滑动爪部分包括分设于所述移动安装板左右两侧的两滑动爪，两滑动爪在气缸的作用下相向或背向运动，实现挂板的抓取或放松。