[发明专利]一种锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法

说明书

一种锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法，包括以下步骤：(1)将所需切割的工件靠近金刚石线锯的切割部分，的切割部分对工件进行切割；(2)喷嘴与气泵及切削液存储装置连接，喷嘴向金刚石锯丝喷出雾状切削液；(3)金刚石锯丝与静电发生器连接，锯丝上带有电荷，在电荷的作用下喷出的切削液吸附在金刚石锯丝上；(4)在金刚石线锯进行往复运动切割工件的过程中，将切削液带入到切割区域中。本发明提供了一种有效提高切割效率和工件表面质量、降低切割成本的锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法。

技术领域

本发明属于金刚石线锯切割技术领域，具体涉及一种锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法。

背景技术

传统的浇筑式金刚石线锯切割大尺寸硅片过程中，由于切缝狭小，冷却切削液难以进入到切割区域的中间部位，切削产生的热量无法及时消除从而在工件上聚集，切削热分布不均衡，导致工件发生形变翘曲，极大影响了工件的质量。同时由于切削液难以进入，切割过程中切削液的润滑效果减弱，对工件切割表面质量和切割效率均产生了不利影响，增加了后续研磨加工的成本。金刚石锯丝磨损严重，使用寿命减少，增加了金刚石线锯的切割成本。

为解决切削液难以进入金刚石线锯切割的中心区域，切削热难以及时消除这一问题。当前主要有增加切削液供给和改良切削液配方两种方法。由于切缝的宽度是固定的，所以能够进入切缝的切削液的数量存在一个上限，当达到一定程度后增加切削液的供给量也无法增加切削液的进入。改良切削液的方法，通过往切削液中添加纳米磨粒及其他材料，以增加切削液的吸附能力和改善切削液的摩擦散热性能。但是该方法增加了切削液的成本，同时增大了切削完成后切削液的回收处理的压力。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种有效提高切割效率和工件表面质量、降低切割成本的锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：

一种锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法，包括以下步骤：

(1)将所需切割的工件靠近金刚石线锯的切割部分，的切割部分对工件进行切割；

(2)喷嘴与气泵及切削液存储装置连接，喷嘴向金刚石锯丝喷出雾状切削液；

(3)金刚石锯丝与静电发生器连接，锯丝上带有电荷，在电荷的作用下喷出的切削液吸附在金刚石锯丝上；

(4)在金刚石线锯进行往复运动切割工件的过程中，将切削液带入到切割区域中。

优选的，所述金刚线锯为电镀金刚石锯丝。导电性能良好，切割性能较好。

再进一步，所述金刚石锯丝与切割机之间进行绝缘处理，切割机其他部分接地。

本发明中金刚石线锯切割中采用锯丝荷电吸附的方法，金刚石锯丝与切割机进行绝缘处理。金刚石线锯荷电后形成空间电场，切削液雾滴上产生感应电荷，并在电场力的作用下向金刚石锯丝移动，吸附于金刚石锯丝表面，并被锯丝带入切割区域，从而增加了进入切缝的切削液的数量，改善了切割区域的润滑及散热状况，提高工件表面质量，改善工件翘曲情况，以及减小锯丝磨损、延长锯丝寿命。

本发明的有益效果为：有效提高切割效率和工件表面质量、降低切割成本。

附图说明

图1为本发明一种锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法切割示意图。

图中金刚石锯丝1，喷嘴2，气泵3，切削液存储装置4，工件5，静电发生器6，切削液7。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

参照图1，一种锯丝荷电吸附的金刚石线锯切割方法，包括以下步骤：