[发明专利]导电元件

说明书

本发明涉及一种微电子装置，包括：支撑件(1)和导电元件，所述导电元件包括以叠层方式且依次位于所述支撑件(1)的第一面上方的基于金属的第一层和与所述第一层接触的、基于选自MoSi_x和WSi_y的材料的第二层。所选材料层的这种组合确保了非常令人满意的导电性，因为很容易获得小于3欧姆的电阻。同时，基于MoSi或WSi的层有效地保护下方的层，尤其是防止氧化。

技术领域

本发明涉及用于微电子装置的导电元件的领域。微电子装置是指用微电子器件实现的任何类型的装置。这些装置除了纯电子装置之外，还尤其包括微机械或机电装置(MEMS，NEMS等)以及光学或光电装置(MOEMS等)。

尤其地，涉及在通过电化学方式的能量存储领域中具有电极的微电子装置，特别是以微电池的形式(从而实现电化学微存储部件)。本发明在提供这种存储的微电子器件的制造中得到应用。这尤其包括使用电解质、优选为固体电解质的电池、蓄电池或电容器类型的装置。

还涉及在具有电活性层的叠层(例如压电层)中具有电极的微电子装置，尤其是用于制造传感器或致动器；这会涉及使用PZT(PbZrTiO₃)陶瓷类型材料的装置。

此外，总是非限制性地，本发明也涉及包括微电子电路的微电子装置的制造，尤其是射频发射器和/或接收器电路部分，例如用于形成电容或电感部分，或者用于此类电路的电触点部分；这会涉及用于移动电话的滤波器部分，例如使用具有高耦合系数的材料(例如LiNbO₃或LiTaO₃)。

背景技术

就电化学能量存储而言，电流系统通常是通过在基板上依次沉积第一电流收集器、第一电极、电解质或离子导体、第二电极和第二电流收集器来实现的。通常需要通过附加的层沉积或封盖转移进行封装，以保护系统免受与氧气和水蒸气的化学反应。

各自连接到不同电极之一的电流收集器可通过电化学存储装置的叠层外部触及，以进行重新接触。第一电极(或常规锂或钠蓄电池中使用的正电极)可用在微电池中，并且最广泛使用的是LiCoO₂。

这种类型的部件具有的缺点是，在其工艺过程期间具有至少一个高热预算步骤。尤其地，在上述用于形成第一电极的LiCoO₂的情况下，通常在空气或氧气中实现热氧化，其目的是使第一电极的材料结晶。通常，该热处理的温度介于500℃和700℃之间。

该特殊性决定了对第一电流收集器的限制性规格。实际上，电流收集器应在氧化气氛下的高温处理之后保持其导电性能。常规地，所使用的材料是铂，该材料昂贵，但是由于其几乎为零的氧化性而能够在热处理之后保持其导电性能。当使用其他材料时，由于由热处理引起的导电部分的氧化，微电子装置的效率降低是显著的。

通常，形成具有良好导电性能的微电子装置的部分总是很棘手，因为抗氧化的优质电导体为数不多而且很昂贵。

因此，本发明的目的是提供一种对当前使用的电导体的替代方案。

发明内容

为了实现该目的，根据一个实施方式，提供了一种微电子装置，包括：支撑件和导电元件，所述导电元件包括以叠层方式且依次在所述支撑件的第一面上方的基于金属的第一层和与所述第一层接触的、基于选自MoSi_x和WSi_y的材料的第二层。

所选材料层的这种组合确保了非常令人满意的导电性，因为很容易获得小于3欧姆的电阻。同时，基于MoSi或WSi的层有效地保护下方的层，尤其是防止氧化。

一种优选但非限制性的应用涉及在氧气存在下的热处理的装置。在这种情况下，并不排除在第二层的表面上形成一层薄的氧化物层，但是由于所选择的材料，其厚度是如此之低，以至于在实践中不会影响整体的导电性。