[发明专利]双带通滤光片及其制作方法

说明书

本发明公开了一种双带通滤光片及其制作方法，其中，双带通滤光片包括膜系结构为满足λ/4周期对称的膜系(0.5HL0.5H)^S和(0.5LH0.5L)^S，其中，λ为中心波长，H为锗的λ/4层，L为硫化锌的λ/4层，S为周期数。本发明的双带通滤光片，通过膜系结构为满足λ/4周期对称的膜系(0.5HL0.5H)^S和(0.5LH0.5L)^S，选用锗和硫化锌为镀膜材料构成双带通滤光片，从而可以只用一片滤光片，就能实现两个特定波段的高透过，其余波段截止，在气体红外探测系统中可同时探测同种气体的两个吸收峰或不同种气体的吸收峰，有效提升系统的灵敏度。

技术领域

本发明属于光学镀膜技术领域，具体涉及一种双带通滤光片及其制作方法。

背景技术

随着红外探测技术的发展，气体红外热成像探测技术在气体探测领域的应用越来越广泛。而红外滤光片是气体红外探测系统的核心元件之一，其滤光性能对探测系统起到巨大的作用，是决定探测效果的关键。

但是，在气体红外热成像探测领域中，现有的甲烷气体红外热成像探测系统仅能探测甲烷单个红外特征吸收峰，同时还存在其他气体吸收峰的干扰。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种双带通滤光片，可以只用一片滤光片，就能实现两个特定波段的高透过，其余波段截止，在气体红外探测系统中可同时探测同种气体的两个吸收峰或不同种气体的吸收峰，有效提升系统的灵敏度。

本发明的另一目的是提供一种双带通滤光片的制作方法。

本发明所采用的技术方案是：

一种双带通滤光片，膜系结构为满足λ/4周期对称的膜系(0.5HL0.5H)^S和(0.5LH0.5L)^S，其中，λ为中心波长，H为锗的λ/4层，L为硫化锌的λ/4层，S为周期数。

优选地，所述前表面膜层的膜系采用：

G/0.63(0.5HL0.5H)¹²(0.5HL0.5H)¹²3.08(0.5LH0.5L)¹²/Air；

其中，G为单晶硅，H为锗的λ/4层，L为硫化锌的λ/4层，Air为空气。

优选地，所述后表面膜层的膜系采用：

G/4H(0.5HL0.5H)¹⁸/Air；

其中，G为单晶硅，H为锗的λ/4层，L为硫化锌的λ/4层，Air为空气。

优选地，包括基片、前表面膜层和后表面膜层，所述基片位于所述前表面膜层和所述后表面膜层之间，所述前表面膜层和所述后表面膜层均以锗和硫化锌为镀膜材料；

与所述基片相邻的膜层为第一层，所述前表面膜层中第一层为硫化锌膜层，最后一层为硫化锌膜层，偶数层均为锗膜层，奇数层均为硫化锌膜层；所述后表面膜层中第一层为硫化锌膜层，最后一层为硫化锌膜层，所述偶数层均为锗膜层，奇数层均为硫化锌膜层。

优选地，所述基片为单晶硅、锗和氟化钙中的一种。

优选地，所述中心波长包括中波红外波段和远波红外波段的组合波段。

本发明的另一个技术方案是这样实现的：

一种基于所述的双带通滤光片的制作方法，包括如下步骤：

S1、采用超声波清洁基片；

S2、将所述基片以及锗膜料颗粒和硫化锌膜料颗粒放入真空腔体内抽真空，镀膜全程不开烘烤；