[发明专利]迟滞补偿的系统和方法在审

专利信息
申请号: 202011266486.5 申请日: 2020-11-13
公开(公告)号: CN112821804A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: E·R·M·维索尔伦;P·塔克斯 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: H02N2/06 分类号: H02N2/06;H01J37/20;H01J37/28
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张凌苗;周学斌
地址: 美国俄*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 迟滞 补偿 系统 方法
【权利要求书】:

1. 一种方法,包括:

选择在第一位置和第二位置之间的路径;和

将包括迟滞补偿部分的驱动信号施加到致动器元件,以沿所述选择的路径移动对象。

2.根据权利要求1所述的方法,还包括:

识别所述致动器元件沿所述选择的路径的方向的至少一个变化,其中所述迟滞补偿部分部分基于所述方向的变化。

3.根据权利要求2所述的方法,其中基于所述驱动信号的变化率的符号识别所述方向的变化。

4. 根据权利要求2所述的方法,其中:

所述驱动信号在第一值和第二值之间变化,以沿所述选择的路径移动所述对象;和

当所述驱动信号的所述变化率的所述符号变化时,所述驱动信号的所述迟滞补偿部分变化。

5.根据权利要求1所述的方法,其中所述迟滞补偿部分基于所述致动器元件的迟滞模型。

6.根据权利要求5所述的方法,其中所述致动器元件的所述迟滞模型包括当通过未补偿的驱动信号在所述第一位置和所述第二位置之间致动时所述致动器元件的位置方程。

7.根据权利要求6所述的方法,还包括确定所述迟滞模型的逆方程,其中所述驱动信号的所述迟滞补偿部分至少部分基于所述逆方程。

8.根据权利要求5所述的方法,还包括确定所述致动器元件的所述迟滞模型。

9.根据权利要求8所述的方法,其中确定所述迟滞模型还包括至少部分基于所述致动器元件的预定的迟滞参数确定高阶多项式。

10.根据权利要求1所述的方法,其中所述对象沿所述选择的路径的运动为线性的或旋转的。

11. 根据权利要求1所述的方法,其中:

所述致动器元件包含压电材料;和

所述驱动信号包含电压信号。

12. 一种定位系统,包括:

驱动单元,包括致动器元件;和

控制系统,其被配置成:

选择在第一位置和第二位置之间的路径;

产生迟滞补偿驱动信号;和

将所述迟滞补偿驱动信号施加到所述致动器元件,以沿所述路径移动对象。

13. 根据权利要求12所述的定位系统,其中:

所述控制系统还包括处理器和与所述处理器通信的存储器单元,所述存储器单元存储所述致动器元件的迟滞模型的数据;和

所述处理器被配置成基于所述致动器元件的所述迟滞模型产生所述迟滞补偿驱动信号。

14. 根据权利要求12所述的定位系统,其中:

所述控制系统还包括处理器和与所述处理器通信的存储器单元,所述存储器单元存储迟滞补偿信号的数据;和

所述处理器被配置成基于所述迟滞补偿信号产生所述迟滞补偿驱动信号。

15.根据权利要求14所述的定位系统,其中所述处理器被配置成:

识别所述致动器元件沿所述选择的路径的方向的至少一个变化;

基于方向的所述至少一个变化从所述存储器单元选择迟滞补偿信号;和

基于所述选择的迟滞补偿信号产生所述迟滞补偿驱动信号。

16. 根据权利要求15所述的定位系统,其中:

所述控制系统还包括信号发生器,被配置成产生用于所述致动器元件的驱动信号;和

所述处理器被配置成基于所述驱动信号的变化率的符号识别方向的所述至少一个变化。

17.根据权利要求12所述的定位系统,其中所述控制系统还包括查询表,其包括多个预定的迟滞补偿驱动信号。

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