[发明专利]一种多轴芯棒沉积设备及其工艺

权利要求书

1.一种多轴芯棒沉积设备，包括沉积腔体、设置于所述沉积腔体侧壁上的喷灯、设置于所述沉积腔体上的引杆组件，所述引杆组件包括下端伸入到沉积腔体内的引杆，其特征在于，所述引杆组件还包括设置于所述引杆上端的升降驱动件、设置于所述引杆下端的连接件、设置于所述连接件下方的多个旋转固定件及驱动所述旋转固定件旋转的旋转驱动组件，所述多个旋转固定件在连接件的下方沿周向等距排列，所述喷灯亦设有多个。

2.如权利要求1的多轴芯棒沉积设备，其特征在于：所述喷灯的数量与所述旋转固定件的数量相同且一一对应。

3.如权利要求2的多轴芯棒沉积设备，其特征在于：所述引杆设置于所述沉积腔体的中心处，所述引杆的下端与所述连接件的上表面固定连接。

4.如权利要求3的多轴芯棒沉积设备，其特征在于：所述引杆的中心轴线与所述连接件的中心轴线共线。

5.如权利要求4的多轴芯棒沉积设备，其特征在于：所述引杆的中心轴线与所述多个旋转固定件围成的圆周的中心轴线共线。

6.如权利要求5的多轴芯棒沉积设备，其特征在于：所述多轴芯棒沉积设备还包括设置于所述沉积腔体内且处于引杆下方的吸气斗，所述引杆轴向两端面相通，所述吸气斗的上端与所述连接件的下表面固定连接，所述连接件上设有贯穿其上下表面的第一通孔，所述第一通孔处于所述引杆与所述吸气斗之间，所述引杆的上端与抽气结构连接。

7.如权利要求6的多轴芯棒沉积设备，其特征在于：所述沉积腔体的下壁设有进气口，所述进气口与所述沉积腔体相通。

8.如权利要求7的多轴芯棒沉积设备，其特征在于：所述旋转驱动组件包括转筒、设置于所述转筒上端的第一齿轮、设置于所述转筒下端的第二齿轮、设置于所述连接件上方的多个第三齿轮，所述引杆穿过所述转筒的内部且所述转筒可旋转的设置于所述引杆上，所述第二齿轮与所述转筒固定连接，所述第二齿轮与所述转筒的中心轴线共线，所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第三齿轮处于所述旋转固定件的上方，所述第三齿轮与所述旋转固定件之间设有连接轴，所述连接轴贯穿所述连接件的上下表面且分别与所述旋转固定件及第三齿轮固定连接，所述连接轴与所述连接件滑动接触，所述旋转固定件的下端设有驱动轴，所述驱动轴上设有位于其下端面上的凹槽及设置于所述凹槽侧面上的相对设置的插销孔。

9.一种使用权利要求1-8中任一项所述的多轴芯棒沉积设备的工艺，其特征在于：所述工艺包括以下步骤：将多个靶棒分别固定在相应的旋转固定件上，驱动所述旋转固定件旋转；驱动引杆向上或向下移动，以使所述靶棒下端运动到沉积的初始位置；多个喷灯同时对所述多个靶棒进行沉积，驱动旋转固定件旋转，同时所述引杆匀速向上运动，当沉积疏松体的长度达到目标值时，停止沉积；沉积停止后，冷却预定时间，取出所述疏松体。

10.如权利要求9的工艺，其特征在于：所述沉积停止后，冷却预定时间，取出所述疏松体之后，还包括：对取出的所述疏松体进行检测；将所述疏松体放入到烧结炉中烧结。