[发明专利]靶材溅射镀膜腔体及提高镀膜腔体洁净程度的方法

权利要求书

1.靶材溅射镀膜腔体，包括密封箱体，其特征在于：密封箱体内设置有负压空间，负压空间内设置有镀膜腔，镀膜腔用于放置靶材和沉积基底，所述密封箱体的内壁设置有承接清洁装置，承接清洁装置包括承接输送带、靶材刮除装置和两个滚轮，两个滚轮可转动的安装于密封箱体的内部，承接输送带的两端分别包绕于两个滚轮；承接输送带用于承接飞向密封箱体内壁的粒子；靶材刮除装置包括负压吸拾嘴和刮刀，刮刀安装于吸拾嘴的嘴口，刮刀贴于承接输送带的表面，负压吸拾嘴用于吸拾刮刀从承接输送带刮除的物质；还包括驱动滚轮转动的动力装置。

2.根据权利要求1所述的靶材溅射镀膜腔体，其特征在于：所述动力装置包括传动轴和电动机，电动机布置于密封箱体的外部，电动机通过传动轴驱动滚轮转动。

3.根据权利要求1所述的靶材溅射镀膜腔体，其特征在于：所述承接输送置于镀膜腔的一侧。

4.根据权利要求3所述的靶材溅射镀膜腔体，其特征在于：所述靶材刮除装置布置于镀膜腔的外部。

5.根据权利要求4所述的靶材溅射镀膜腔体，其特征在于：所述靶材刮除装置布置于承接输送带输送方向的一侧。

6.根据权利要求1所述的靶材溅射镀膜腔体，其特征在于：还包括抽真空装置，抽真空装置用于降低负压空间和负压吸拾嘴抽的气压。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的靶材溅射镀膜腔体，其特征在于：所述承接输送带为钨钢材质的承接输送带。

8.根据权利要求1所述的靶材溅射镀膜腔体，其特征在于：所述滚轮的轴向与水平面垂直。

9.提高镀膜腔洁净程度的方法，其特征在于：使用权利要求1-8中任意一项所述的靶材溅射镀膜腔体，在镀膜作业时，飞向密封箱体内壁的粒子被承接输送带承接，动力装置通过滚轮驱动承接输送带转动，使得承接输送带表面的物质被刮刀刮除后被负压吸拾嘴吸取，从而避免承接输送带表面成膜脱落。