[发明专利]夹具补偿的系统和方法

权利要求书

1. 一种方法，其包括：

将夹具元件驱动信号施加到驱动单元夹具元件，使得所述夹具元件在第一方向上朝着移动器元件移动；以及

将剪切元件驱动信号施加到驱动单元剪切元件，使得所述剪切元件在第二方向上移动，以至少部分地补偿所述驱动单元夹具元件与所述移动器元件之间的未对准。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述剪切元件驱动信号至少部分地补偿由于所述驱动单元夹具元件接触所述移动器元件的角度而引起的所述移动器元件的运动。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述剪切元件驱动信号至少部分地基于由所述驱动单元夹具元件和所述移动器元件的接触而引起的所述移动器元件的位移。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述驱动单元夹具元件和所述驱动单元剪切元件是压电元件。

5.根据权利要求1所述的方法，其中施加所述剪切元件驱动信号包括施加初始剪切元件驱动信号和补偿信号。

6. 根据权利要求1所述的方法，其进一步包括至少部分地通过以下方式来确定经过修改的剪切元件驱动信号：

响应于与所述驱动单元夹具元件的接触而确定所述移动器元件的第一位移；以及

至少部分地基于所述移动器元件的所述第一位移和所述驱动单元剪切元件的逆向剪切常数的乘积来确定第一补偿信号。

7.根据权利要求6所述的方法，其中确定所述经过修改的剪切元件驱动信号进一步包括：

响应于第一补偿信号的施加而确定所述移动器元件的第二位移；

至少部分地基于所述移动器元件的所述第二位移来确定第二补偿信号。

8.根据权利要求7所述的方法，其进一步包括将所述第二补偿信号与初始剪切元件驱动信号组合，以获得所述经过修改的剪切元件驱动信号。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述剪切元件驱动信号通过在与所述移动器元件因与所述驱动单元夹具元件接触而引起的移动的方向相反的方向上引起所述驱动单元剪切元件的移动而至少部分地补偿所述驱动单元夹具元件的未对准。

10.一种方法，其包括：

将夹具元件驱动信号施加到驱动单元夹具元件以接合移动器元件；

确定所述移动器元件的第一位移；

至少部分地基于所述第一位移来确定待施加到一个或多个驱动单元剪切元件的第一补偿信号；

将所述第一补偿信号施加到所述一个或多个驱动单元剪切元件，并将所述夹具元件驱动信号施加到所述驱动单元夹具元件；

响应于所述第一补偿信号和所述夹具元件驱动信号而确定所述移动器元件的第二位移；以及

将所述第二位移与预先选定的阈值进行比较；

对于小于所述预先选定的阈值的第二位移，将所述第一补偿信号与初始剪切元件驱动信号组合以产生经过修改的剪切元件驱动信号；以及

对于大于所述预先选定的阈值的第二位移，确定待施加到所述一个或多个驱动单元剪切元件的第二补偿信号。

11.根据权利要求10所述的方法，其进一步包括将所述夹具元件驱动信号施加到所述驱动单元夹具元件，同时将所述经过修改的剪切元件驱动信号施加到所述一个或多个驱动单元剪切元件。

12.根据权利要求10所述的方法，其中确定所述补偿信号包括将所述移动器元件的所述位移乘以所述一个或多个剪切元件的逆向剪切常数。