[发明专利]一种基于外差探测体制的无针孔扫描式共焦显微镜

权利要求书

1.一种基于外差探测体制的无针孔扫描式共焦显微镜，该装置包括：激光器(1)、光纤分束器(2)、声光移频器A(3)、声光移频器B(4)、准直器(5)、光电探测器(6)、合束片A(7)、光瞳滤波器(8)、准直透镜(9)，合束片B(10),聚焦透镜(11)，成像样品(12)，三轴高精度移动平台(13)；其特征在于激光器(1)出射的频率为f激光通过光纤分束器(2)分为两束激光，其中一束经过声光移频器B(4)移频后频率变为f+f₁，移频后的光作为信号光经准直透镜(9)后变为平行光，再依次透过合束片B(10)、聚焦透镜(11)后聚焦到成像样品(12)上；成像样品(12)的反射光依次透过聚焦透镜(11)、经合束片B(10)反射、透过光瞳滤波器(8)、透过合束片A(7)、到达光电探测器(6)；激光器(1)发出的频率为f的光经光纤分束器(2)后的另一路传输到声光移频器A(3)，经其移频后频率变为f+f₂，经过准直器(5)后变为平行光，再经过合束片A(7)的反射后入射到光电探测器(6)，与入射的成像样品反射光相干产生频率为Δf＝f₁-f₂的中频信号；对于静止成像物体，在成像过程中Δf保持不变；由于物体反射率不同，反射回的信号光强度不同，与本振光干涉产生的频率为Δf的中频信号强度也不同，通过扫描成像过程中不同像点的中频信号强度分析，对物体进行成像。