[发明专利]一种用于射频电源的漏波检测电路、方法及射频电源

说明书

本发明公开了一种用于射频电源的漏波检测电路、方法及射频电源，在天线接收到外界的漏波能量后，通过传输线输入到内部电路，依次进行滤波、放大、整流、检波处理，检波后的功率值在比较控制器中进行比较，若功率值高于阈值，则判定泄露电磁波较高，对设备及人体可能造成伤害，随后通过调整占空比对功率进行控制并进行显性警告，以解决射频电源的漏波辐射对人体造成的安全隐患的问题。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及的是一种用于射频电源的漏波检测电路、方法及射频电源。

背景技术

关于电磁波泄露问题，研究表明人体与幅射源距离很近时，可以受到过量的辐射能量而导致头昏、睡眠障碍、记忆力减退、心动过缓、血压下降等。研究发现，当人眼靠近微波炉泄漏处约30cm，微波漏能达1mW/cm2时，会使人突然感到眼花，眼底检查见视网膜黄斑部上方有点状出血；人体最容易受到漏波伤害的部位是眼睛的晶体。如果眼睛较长时间受到超过安全规定的微波辐射，视力会下降，甚至引起白内障。为了保障使用者的健康，国际电工委员会和我国有关部门规定，在微波炉门外5厘米处，测得微波的泄漏不得超过5mW/cm2。而其他高功率设备，日最大允许量为400μW*h/cm2。

而为产生等离子体，射频电源（射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压，频率在射频范围（约3KHz～300GHz）内、具有一定功率的电源）输出功率往往需要kW级别，典型的输出功率为5kW。一般射频电源采用金属壳体装配，可以提高结构强度和屏蔽能力，但从千瓦级别的可能漏波功率屏蔽到5mW/cm2，需要80dB以上的隔离，金属壳体往往难以满足；而且受装配上的工艺受限（如边角上的缝隙和孔），是天然的传导电磁波的途径，使得漏波风险大大增加。

因此，现有的技术还有待于改进和发展。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于射频电源的漏波检测电路、方法及射频电源，旨在解决现有的射频电源上没有漏波检测，导致存在辐射安全隐患的问题。

本发明的技术方案如下：一种用于射频电源的漏波检测电路，其中，包括：

漏波能量接收结构，接收射频电源的漏波能量信号；

检波电路，对接收的射频电源的漏波能量信号进行功率检波，检测功率的幅值；

比较控制器，将检波后的信号功率的幅值与预设阈值进行比较，并根据比较结果发送控制信号；

PWM调制器，根据比较控制器的控制信号通过调整PWM的占空比来更改射频电源信号的功率大小，减少射频电源对外辐射的漏波量。

所述的用于射频电源的漏波检测电路，其中，还包括滤波电路，对接收到的射频电源的漏波能量信号进行过滤，对频率在工作频带以外的杂散信号及干扰进行滤除，仅通过带内的信号。

所述的用于射频电源的漏波检测电路，其中，还包括数控衰减器，对滤波后的信号进行衰减处理。

所述的用于射频电源的漏波检测电路，其中，还包括低噪声放大器，对衰减后的信号进行低噪放大处理，低噪放大处理后的信号进入检波电路进行处理。

所述的用于射频电源的漏波检测电路，其中，所述漏波能量接收结构设置多个，多个漏波能量接收结构设置在射频电源外壳上。

所述的用于射频电源的漏波检测电路，其中，还包括用于将多个漏波能量接收结构检测到的漏波能量信号进行合路的多路合成器。

所述的用于射频电源的漏波检测电路，其中，还包括用于发出漏波警告的警告结构。

一种采用如上述任一所述的用于射频电源的漏波检测电路的检测方法，其中，具体包括以下步骤：

S10：接收射频电源的漏波能量信号；