[发明专利]具有矩阵控制的芯片电极的生物FET传感器阵列在审

专利信息
申请号: 202011279490.5 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112816538A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 陈林谦;赵奕禄 申请(专利权)人: 瀚源生医股份有限公司
主分类号: G01N27/414 分类号: G01N27/414
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 刘媛媛
地址: 中国台湾新竹县竹北市生*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 具有 矩阵 控制 芯片 电极 生物 fet 传感器 阵列
【说明书】:

本申请涉及具有矩阵控制的芯片电极的生物FET传感器阵列。本申请涉及一种感测系统,其包括衬底、安置于所述衬底上的传感器阵列,和电连接到所述传感器阵列的控制单元。所述控制单元被配置成激活所述传感器阵列的第一传感器,且同时停用所述传感器阵列中邻近于所述第一传感器安置的第二传感器。

技术领域

本申请涉及一种传感器阵列。更确切地说,本申请涉及具有矩阵控制的芯片电极的生物FET传感器阵列。

背景技术

离子敏感场效应晶体管(ISFET)最初在二十世纪七十年代开发,作为玻璃电极的替代方案用于pH和离子测量。随着技术的进步,ISFET可用于检测关于生物材料的多种特性,且因此有时可被称作FET生物传感器或生物FET传感器。相比于MOSFET,FET生物传感器的栅极电极被与栅极氧化物接触且浸没于水溶液中的驱动电极代替。FET生物传感器的驱动电极通常安置成与其感测部分隔开,且因此驱动电极和感测部分之间的距离可能不利地影响FET生物传感器的精确度。因此,将驱动电极集成到FET生物传感器中是FET生物传感器领域内仍待解决的问题之一。

发明内容

根据本申请的一些实例实施例,公开一种感测系统。所述感测系统包括衬底、安置于所述衬底上的传感器阵列,以及电连接到传感器阵列的控制单元。所述控制单元被配置成激活传感器阵列的第一传感器,且同时停用传感器阵列的安置成邻近于第一传感器的第二传感器。

根据本申请的一些实例实施例,公开一种感测系统。所述感测系统包括衬底、安置于所述衬底上的传感器阵列,以及电连接到传感器阵列的控制单元。传感器阵列包括第一感测部分、第一驱动电极、第五感测部分和第五驱动电极,其中控制单元被配置成激活第一感测部分和第一驱动电极,且同时停用第五感测部分和第五驱动电极。

根据本申请的一些实例实施例,公开一种控制传感器阵列的方法。所述方法包括由控制单元提供第一信号以在第一时间处激活第一感测部分。所述方法包括由控制单元提供第二信号以在第一时间处激活第一驱动电极。所述方法包括由控制单元提供第三信号以在第一时间处停用第五感测部分。所述方法包括由控制单元提供第四信号以在第一时间处停用第五驱动电极。其中第二感测部分和第二驱动电极安置成邻近于第一感测部分和第一驱动电极。

附图说明

当结合附图阅读时,容易根据以下详细描述理解本申请的各方面。应注意,各种特征可能并不按比例绘制。实际上,为了论述清楚起见,可以任意增大或减小各种特征的尺寸。

图1A是根据本申请的一些实施例的感测系统的示意图。

图1B是根据本申请的一些实施例的传感器阵列的一部分的横截面图。

图2A是根据本申请的一些实施例的传感器阵列的示意图。

图2B是根据本申请的一些实施例的传感器阵列的示意图。

图3A是根据本申请的一些实施例的传感器阵列的示意图。

图3B是根据本申请的一些实施例的传感器阵列的示意图。

图3C是根据本申请的一些实施例的传感器阵列的示意图。

图3D是根据本申请的一些实施例的传感器阵列的示意图。

图4A是根据本申请的一些实施例的传感器阵列内的电场的示意图。

图4B是根据本申请的一些实施例的传感器阵列内的电场的示意图。

图5是根据本申请的一些比较实施例的传感器的横截面图。

图6是根据本申请的一些比较实施例的传感器的横截面图。

图7A是根据本申请的一些实施例的传感器的示意图。

图7B是根据本申请的一些实施例的传感器的横截面图。

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