[发明专利]一种碳化硅衬底位错自动识别方法及系统

权利要求书

1.一种碳化硅衬底位错自动识别方法，其特征在于，所述方法包括：

通过显微镜对待测碳化硅衬底进行自动扫描，并对扫描区域进行自动拍照记录，具体包括：

通过显微镜载物台移动辅助装置，使显微镜载物台带动所述待测碳化硅衬底以第一预设频率进行定频移动；其中，所述显微镜载物台移动辅助装置包括第一连接件、第二连接件、转角减速机、驱动电机以及触摸显示屏；通过所述显微镜对所述待测碳化硅衬底以第二预设频率进行定频拍照；其中，所述第一预设频率与所述第二预设频率相等；

所述第一连接件的一端包括限位部，用于与所述显微镜载物台的旋钮配合；所述第一连接件的另一端包括插接部，用于与所述第二连接件配合；所述限位部包括限位孔及限位槽；所述限位槽设置于所述限位部的内表面，用于在插接方向对所述显微镜载物台的旋钮进行限位；所述限位孔设置于所述限位部的外表面，用于在插接方向的垂直方向对所述显微镜载物台的旋钮进行限位；所述插接部包括限位柱；所述限位柱设置于所述插接部的外表面，用于与所述第二连接件配合；

所述第二连接件的一端具有配合插接部，用于与所述第一连接件配合；所述第二连接件的另一端具有通孔，用于与所述转角减速机的输出轴配合；所述配合插接部包括限位槽以及限位孔；所述限位槽设置于所述配合插接部的内表面，用于在插接方向对所述第一连接件进行限位；所述限位孔设置于所述配合插接部的外表面，用于在插接方向的垂直方向对所述第一连接件进行限位；所述第二连接件具有通孔的一端包括限位孔，用于在插接方向的垂直方向对所述转角减速机的输出轴进行限位；

通过计算机设备接收显微镜发送的与待测碳化硅衬底有关的位错图像，并将所述位错图像输入至碳化硅衬底位错识别神经网络模型中；

基于碳化硅衬底位错识别神经网络模型，对所述待测碳化硅衬底中的位错进行识别；

将所述碳化硅衬底位错识别神经网络模型输出的位错信息在计算机设备上进行显示。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅衬底位错自动识别方法，其特征在于，在显微镜对待测碳化硅衬底进行自动扫描之前，所述方法还包括：

确定待检测碳化硅衬底；

将所述待检测碳化硅衬底通过熔融热碱液进行腐蚀，得到待测碳化硅衬底；其中，所述待测碳化硅衬底上包括若干碳化硅衬底位错腐蚀坑。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅衬底位错自动识别方法，其特征在于，在将所述位错图像输入至碳化硅衬底位错识别神经网络模型中之前，所述方法还包括：

获取若干与碳化硅衬底位错腐蚀坑有关的图像数据；

对所述图像数据中的碳化硅衬底位错腐蚀坑以标注框的形式进行标注；

基于标注后的图像数据构建神经网络模型的训练数据集；

将所述训练数据集输入至神经网络模型中，训练直至输出收敛，得到碳化硅衬底位错识别神经网络模型。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅衬底位错自动识别方法，其特征在于，基于碳化硅衬底位错识别神经网络模型，对所述待测碳化硅衬底中的位错进行识别，具体包括：

通过碳化硅衬底位错识别神经网络模型的输入层将所述位错图像输入至碳化硅衬底位错识别神经网络模型中；

通过所述碳化硅衬底位错识别神经网络模型的卷积层，得到所述位错图像对应的特征图像；

将所述特征图像输入至池化层进行池化处理，并将池化处理后的所述特征图像经全连接层输入至分类层；

通过分类层对所述全连接层输出的特征图像与预存的缺陷图像进行拟合，以确定所述特征图像对应的拟合评分值。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅衬底位错自动识别方法，其特征在于，在确定所述特征图像对应的拟合评分值之后，所述方法还包括：

确定所述拟合评分值与预设阈值的大小关系；

在所述拟合评分值大于预设阈值的情况下，确定所述位错图像对应的位错类型与所述缺陷图像对应的位错类型一致。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅衬底位错自动识别方法，其特征在于，所述位错信息至少包括以下任一项或者多项：位错类型、位错位置、位错数量、位错密度以及位错腐蚀坑的尺寸。

7.一种碳化硅衬底位错自动识别系统，其特征在于，所述系统包括：显微镜、计算机设备；

所述显微镜，用于对待测碳化硅衬底进行自动扫描，以及用于对扫描区域进行自动拍照记录，具体包括：

通过显微镜载物台移动辅助装置，使显微镜载物台带动所述待测碳化硅衬底以第一预设频率进行定频移动；其中，所述显微镜载物台移动辅助装置至少包括第一连接件、第二连接件、转角减速机、驱动电机以及触摸显示屏；通过所述显微镜对所述待测碳化硅衬底以第二预设频率进行定频拍照；其中，所述第一预设频率与所述第二预设频率相等；

所述第一连接件的一端包括限位部，用于与所述显微镜载物台的旋钮配合；所述第一连接件的另一端包括插接部，用于与所述第二连接件配合；所述限位部包括限位孔及限位槽；所述限位槽设置于所述限位部的内表面，用于在插接方向对所述显微镜载物台的旋钮进行限位；所述限位孔设置于所述限位部的外表面，用于在插接方向的垂直方向对所述显微镜载物台的旋钮进行限位；所述插接部包括限位柱；所述限位柱设置于所述插接部的外表面，用于与所述第二连接件配合；

所述第二连接件的一端具有配合插接部，用于与所述第一连接件配合；所述第二连接件的另一端具有通孔，用于与所述转角减速机的输出轴配合；所述配合插接部包括限位槽以及限位孔；所述限位槽设置于所述配合插接部的内表面，用于在插接方向对所述第一连接件进行限位；所述限位孔设置于所述配合插接部的外表面，用于在插接方向的垂直方向对所述第一连接件进行限位；所述第二连接件具有通孔的一端包括限位孔，用于在插接方向的垂直方向对所述转角减速机的输出轴进行限位；

所述计算机设备，用于接收显微镜发送的与待测碳化硅衬底有关的位错图像，以及用于将所述位错图像输入至碳化硅衬底位错识别神经网络模型中；

所述计算机设备，还用于基于碳化硅衬底位错识别神经网络模型，对所述待测碳化硅衬底中的位错进行识别，以及用于将所述碳化硅衬底位错识别神经网络模型输出的位错信息进行显示。