[发明专利]化学机械研磨设备防碰撞侦测系统

权利要求书

1.化学机械研磨设备防碰撞侦测系统，其特征在于：包括支撑单元（1）和打磨单元（2）；所述支撑单元（1）包括转轴（11）、转盘（12）和研磨垫（13）；所述转轴（11）通过一端外接马达驱动转动，转轴（11）的另一端固接在转盘（12）的一端面中间位置；所述转盘（12）的另一端面固接研磨垫（13）的一表面，研磨垫（13）的另一表面承载有所要研磨的晶元体；所述支撑单元（1）的一侧打磨单元（2）；

所述打磨单元（2）包括转动杆（21）、横杆（22）、电机（23）和研磨头（24）；所述转动杆（21）的一端通过外接马达驱动转动，转动杆（21）的另一端固接横杆（22）的一端，横杆（22）的另一端固接电机（23），电机（23）的输出轴端部固接研磨头（24），研磨头（24）的研磨端面伸向研磨垫（13）；

所述电机（23）与研磨头（24）之间设有圆柱形状的基板（25）；所述基板（25）的上端面固接在电机（23）的下端面，基板（25）的中间位置开设通孔（251），通孔（251）的内圈间隙配合电机（23）的输出轴外圈，基板（25）的下端面与研磨头（24）的上端面之间留有间隙，基板（25）的外圈上设有距离传感器（26）,距离传感器（26）电性连接外界操控电脑；

所述基板（25）的外圈侧壁上开环形槽（27），环形槽（27）内设有多个连接板（271）；每个所述连接板（271）的剖切面呈字母“T”形状，每个连接板（271）的竖直两端嵌在环形槽（27）内，每个连接板（271）的水平端上固接距离传感器（26），且距离传感器（26）的发射端指向外界的研磨垫用调节器；

每个所述连接板（271）的竖直端侧壁上设有弹簧（272）；所述弹簧（272）的一端固接在连接板（271）的竖直端侧壁上，弹簧（272）的另一端贴附挤压在环形槽（27）的侧壁上；

所述环形槽（27）的槽口上开设通槽（273），通槽（273）的槽口长度和宽度与大于连接板（271）的竖直端长度和宽度。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨设备防碰撞侦测系统，其特征在于：所述横杆（22）的下方设有支撑杆（221）和滑轨（222）；所述支撑杆（221）的一端固接在横杆（22）的中间位置，支撑杆（221）的另一端滑动连接在滑轨（222）内；所述滑轨（222）呈半圆环状，滑轨（222）的轴线与转动杆（21）的轴线同线。

3.根据权利要求2所述的化学机械研磨设备防碰撞侦测系统，其特征在于：所述支撑杆（221）的另一端开设凹槽，凹槽内设有滚珠（223）；所述滚珠（223）滚动连接在凹槽内，滚珠（223）滚动连接在滑轨（222）内。