[发明专利]一种硅片吸附吸盘变间距组件在审
申请号: | 202011280984.5 | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN112382600A | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 林佳继;姚正辉;裴维维;张峥水;时祥;马力 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 吸附 吸盘 间距 组件 | ||
本发明涉及光伏组件装置技术领域,具体涉及一种硅片吸附吸盘变间距组件,旨在解决现有技术中硅片传输装置无法满足硅片在花篮与石英舟之间周转过程中实现变间距要求形成的问题,其技术要点在于:包括两组间距调整块、组件安装板及调节部件,每组所述间距调整块一一对应设置,相互对应的两个所述间距调整块之间设置有连杆,同组相邻两个所述间距调整块之间设置有互联装置,同组所述间距调整块之间贯穿有导向轴,所述间距调整块位于所述组件安装板厚度方向其中一侧,每一所述间距调整块上分别固定有一吸盘,所述调节部件设置有两个,两个所述调节部件分别用于对两组间距调整块位置进行调节。
技术领域
本发明涉及光伏组件设备技术领域,具体涉及一种硅片吸附吸盘变间距组件。
背景技术
花篮和石英舟是硅片运输过程中的重要工具,由于花篮和石英舟的槽间距不相同,且花篮的槽间距一般为石英舟槽间距的两倍,所以吸盘从花篮里面取片之后需要错位分次将硅片插入石英舟中,且无法兼容不同规格的花篮和石英舟,随着硅片加工工艺要求要来越高,其加工工艺也越来越复杂,对硅片装卸装置的要求也越来越高,现有工艺中有需求硅片装卸装置将硅片从花篮周转到石英舟,或从石英舟周转到花篮中时,硅片间距能与花篮槽间距及石英舟槽间距匹配,无需错位插片。且该结构也通用于导片机从花篮到花篮,从花篮到缓存位,从缓存位到取料位的硅片搬运,解决目前导片机皮带输送硅片会在硅片上留下皮带印的通病。
现有的硅片传送装置,均无法满足硅片从花篮到石英舟或从石英舟到花篮的周转过程中实现变间距的要求。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片传送装置,均无法满足硅片从花篮到石英舟或从石英舟到花篮的周转过程中实现变间距的要求形成的缺陷,从而提供一种硅片吸附吸盘变间距组件。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种硅片吸附吸盘变间距组件,包括两组间距调整块、组件安装板及调节部件,每组所述间距调整块一一对应设置,相互对应的两个所述间距调整块之间设置有连杆,同组相邻两个所述间距调整块之间设置有互联装置,同组所述间距调整块之间贯穿有导向轴,所述间距调整块位于所述组件安装板厚度方向其中一侧,每一所述间距调整块上分别固定有一吸盘,所述调节部件设置有两个,两个所述调节部件分别用于对两组间距调整块位置进行调节。
优选的,所述调节部件为相互平行设置的两个气缸,所述气缸上的活塞杆贯穿所述组件安装板并固定在每组所述间距调整块指向所述组件安装板的一个,两个所述气缸分别位于所述气缸安装板的两侧并固定在所述气缸安装板上。
优选的,所述间距调整块上设置有吸盘安装座,所述吸盘安装座用于固定吸盘。
优选的,所述间距调整块上设置有供所述导向轴贯穿的定位槽,所述定位槽贯穿所述间距调整块设置,并且,所述定位槽内设置有衬套。
优选的,所述间距调整块上还设置有固定孔,所述互联装置为贯穿所述固定孔的拉杆,所述拉杆包括固定轴及位于所述固定轴其中一端的台阶部,所述台阶部与所述间距调整块相互贴合设置,所述固定轴贯穿所述间距调整块并指向相邻所述间距调整块,所述固定轴上设置有螺纹孔,所述固定轴通经过螺纹孔与相邻所述间距调整块固定设置。
上述所述的一种硅片吸附吸盘变间距组件,通过互联装置将同组组若干个间距调整块互连,且两组间距调整块又通过连杆互锁,当两个气缸推动或拉伸第一片间距位移调整片时,两组所有间距调整块同时发生位移,从而实现整个吸盘组件的间距调整。两个分别控制吸盘组件的张开和收缩,并且都用三位五通阀控制,两个气缸单独动作时,相互不影响。可以同时匹配花篮槽间距和石英舟槽间距,组件吸盘间距初始状态与花篮槽间距匹配,当组件从花篮里取完片后调整至石英舟的槽间距,将硅片直接插至石英舟里,无需因为花篮和石英舟的槽间距不一致而错位分次插片。且该结构也通用于导片机从花篮到花篮,从花篮到缓存位,从缓存位到取料位的硅片搬运,解决目前导片机皮带输送硅片会在硅片上留下皮带印的通病。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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