[发明专利]能连接到机械手以与处理工具一起使用的端部执行器

权利要求书

1.一种能连接到机械手以与处理工具一起使用的端部执行器，其包含：

指状物组件，其由板限定，所述指状物组件包括基部和从所述基部向外延伸的成对的指状物，所述成对的指状物中的每一个都包括与所述基部相邻的近端，其中所述指状物组件耦合到所述机械手的手臂，以及远端在所述成对的指状物的前端处；

第一组接触垫，其设置在所述指状物组件的顶表面上，在所述成对的指状物的所述基部和所述远端处，使得所述第一组接触垫限定外径，所述第一组接触垫用于当由所述指状物组件操作时支撑消耗部件；

第二组接触垫，其设置在所述指状物组件的所述顶表面上，在邻近所述基部的近端处且靠近所述远端，使得所述第二组接触垫限定内径，所述第二组接触垫用于当由所述指状物组件操作时支撑衬底，

其中，所述外径设置成与所述内径同心，并且其中，所述第一组接触垫提供的接触表面不同于所述第二组接触垫提供的接触表面。

2.根据权利要求1所述的端部执行器，其中所述内径等于或小于所述衬底的直径，并且所述外径等于或小于所述消耗部件的直径。

3.根据权利要求1所述的端部执行器，其中，所述第一组接触垫沿由所述外径限定的圆的圆周设置，并且所述第二组接触垫沿由所述内径限定的圆的圆周设置。

4.根据权利要求1所述的端部执行器，其中，所述第一组接触垫位于第一高度，且所述第二组接触垫位于第二高度，其中，所述第一高度与所述第二高度不同，使得由所述第一高度限定的用于接收所述消耗部件的接触表面与由所述第二高度限定的用于接收所述衬底的接触表面不同。

5.根据权利要求1所述的端部执行器，其中，所述第一组接触垫包括：

第一成对的接触垫，其位于所述指状物组件的所述基部处；以及

第二成对的接触垫，其靠近所述指状物组件的所述远端定位，其中所述第一组接触垫的所述第一成对的接触垫和所述第二成对的接触垫被限定在所述第二组接触垫的外面。

6.根据权利要求1所述的端部执行器，其中所述第二组接触垫包括：

第三成对的接触垫，其位于所述成对的指状物的所述近端处，使得所述第三成对的接触垫在所述第一组接触垫的所述第一成对的接触垫和所述第二成对的接触垫之间；以及

第四成对的接触垫，其位于所述远端处，使得所述第四成对的接触垫在所述第一组接触垫的所述第二成对的接触垫和所述第二组接触垫的所述第三成对的接触垫之间。

7.根据权利要求1所述的端部执行器，还包括第三组接触垫，所述第三组接触垫靠近所述第一组接触垫定位，其中，所述第一组接触垫和所述第三组接触垫之间的距离与所述消耗部件的底表面的横截面轮廓相关。

8.根据权利要求1所述的端部执行器，其中所述指状物组件通过将所述基部连接到腕状板而耦合到所述机械手的手臂。

9.根据权利要求8所述的端部执行器，其中所述腕状板通过安装臂架被连接到所述基部，所述安装臂架包括顶板和底板，所述指状物组件的所述基部被安装在所述安装臂架的所述顶板和所述底板之间。

10.根据权利要求1所述的端部执行器，其中所述第一组接触垫和所述第二组接触垫由弹性体材料制成。

11.根据权利要求1所述的端部执行器，其中所述机械手设置在所述处理工具的真空传送模块内。