[发明专利]一种用于半导体晶体生产的抛光设备

权利要求书

1.一种用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，包括支架(1)、定位夹持结构(2)、定点启停结构(3)、固定架(4)、气缸(5)、抛光电机(6)、滑块(7)和导轨(8)；所述支架(1)的顶侧一端安装有定位夹持结构(2)，所述支架(1)的边侧安装有定点启停结构(3)，所述固定架(4)焊装在支架(1)的顶侧另一端，所述固定架(4)的侧面固定有气缸(5)，所述导轨(8)固定在支架(1)的顶侧，所述滑块(7)配合扣装在导轨(8)上，所述抛光电机(6)配合安装在滑块(7)上，所述气缸(5)的气动杆与抛光电机(6)通过焊接连接；所述定位夹持结构(2)包括固定盘(21)，所述固定盘(21)的一侧成环形局阵列固定有三个限位筒(22)，所述限位筒(22)的内部粘贴安装有伸缩气管(23)，所述伸缩气管(23)的一端配合连接有连接管(24)，所述连接管(24)的另一端固定有气囊(25)，进气缸(26)焊装在固定盘(21)的圆周面顶侧，第一活塞杆(27)安装在进气缸(26)内，所述进气缸(26)的底端连接固定有连通管(28)，所述连通管(28)分别与三个伸缩气管(23)连通，标量气缸(29)焊装在固定盘(21)的另一侧，第二活塞杆(212)穿设在标量气缸(29)的一端缸壁内，所述第二活塞杆(212)的一端固定有标量指针(210)，所述第二活塞杆(212)的另一端外部套装有膨胀弹簧(213)，所述标量气缸(29)的一端缸壁上焊装有刻度尺(211)。

2.根据权利要求1所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述标量气缸(29)的底部与连通管(28)连通，所述刻度尺(211)与第二活塞杆(212)平行设置。

3.根据权利要求1所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述连通管(28)与进气缸(26)的连接位置上安装有单向阀，所述连通管(28)的中部安装有泄压阀，所述进气缸(26)的底部另一侧安装有进气管，进气管上安装有单向阀。

4.根据权利要求1所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述固定盘(21)焊装在支架(1)的顶侧，所述固定盘(21)的中心轴与抛光电机(6)的转轴中心轴在同一直线上。

5.根据权利要求1所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述定点启停结构(3)包括滑轨(31)，所述滑轨(31)上配合扣装有滑扣(37)，所述滑扣(37)上架设有限位杆(32)，活动板(34)内开设有杆孔，所述限位杆(32)穿设在杆孔内，复位弹簧(35)套装在限位杆(32)的一端外部，接触板(33)和第一导电拨片(311)分别安装在活动板(34)的一侧上下两端，第二安装板(313)焊装在滑扣(37)的底侧一端，第二导电拨片(312)固定在第二安装板(313)的一侧，第一安装板(39)焊装在滑扣(37)的底侧中部，所述第一安装板(39)和活动板(34)的相对面上均安装有电极球(310)，警鸣器(38)安装在第一安装板(39)的另一侧面上。

6.根据权利要求5所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述滑扣(37)上通过螺纹配合穿设有定位销(36)，所述定位销(36)的端面与滑轨(31)的表面相切。

7.根据权利要求5所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述第一导电拨片(311)、第二导电拨片(312)、抛光电机(6)和电源通过导线连接串联电路，两所述电极球(310)、警鸣器(38)和储蓄电池通过导线连接串联电路。

8.根据权利要求7所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述滑扣(37)上设置有标量线，所述支架(1)的侧面上设置有刻度线。

9.根据权利要求5所述的用于半导体晶体生产的抛光设备，其特征在于，所述滑块(7)的一侧安装有触动杆，所述触动杆与接触板(33)平行设置，所述接触板(33)比第一导电拨片(311)厚1mm。