[发明专利]一种平插式的电子探头及探测方法

权利要求书

1.一种平插式的电子探头，其特征在于，包括电子枪(7)、传输通道(1)、样品室(2)、信号读取装置和信号接收装置(6)，电子枪(7)用于发射电子束，电子束通过传输通道(1)进入至样品室(2)，样品室(2)内设有样品台(3)，样品台(3)用于放置样品(4)，电子束照射到样品(4)并进行背散射，信号读取装置用于接收经样品台(3)背散射的电子束，信号读取装置为CCD相机(5)，CCD相机(5)与信号接收装置(6)数据连接。

2.根据权利要求1所述的平插式的电子探头，其特征在于，所述CCD相机(5)沿传输通道(1)外围环形设置。

3.根据权利要求2所述的平插式的电子探头，其特征在于，所述CCD相机(5)镜头平面与样品(4)表面平面相互平行。

4.根据权利要求3所述的平插式的电子探头，其特征在于，所述传输通道(1)内设有聚光镜头(8)和散光像差补偿器；电子枪(7)位于传输通道(1)入口处，入口处还设有阳极(10)、对准线圈(11)和会聚光圈(12)；传输通道(1)出口处还设有偏转线圈(13)。

5.一种平插式的电子探头的探测方法，基于权利要求1至4任一所述的平插式的电子探头，其特征在于，包括以下步骤：

S1：电子枪(7)发送的电子束，在传输通道(1)内通过聚光镜头(8)和散光像差补偿器的调节，进入至样品室(2)；

S2：样品室(2)中放置于样品台(3)上的样品(4)将电子束背散射；

S3：使用CCD相机(5)将经过样品(4)背散射的电子信号进行读取；

S4：将读取的信号发送至信号接收装置(6)进行处理。