[发明专利]一种用于沉积石英疏松体的支撑组件在审
申请号: | 202011281420.3 | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN112194362A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 孙伟;田国才;胡付俭;冯刚;姜丁允;金卫卫;杨阳;马明松;陆晓明;徐美芳 | 申请(专利权)人: | 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 李小叶 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 沉积 石英 疏松 支撑 组件 | ||
1.一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:该支撑组件包括把持杆和支撑杆;该支撑杆为用于沉积石英疏松体的锥形石英杆;且该支撑杆包括支撑上杆和支撑下杆,该支撑下杆为上细下粗的圆锥形结构;支撑上杆设置于支撑下杆的上端上,且该支撑上杆为圆柱形结构;所述把持杆的中部具有圆柱孔道;支撑杆的支撑上杆插入于把持杆的圆柱孔道中;把持杆的中部为圆柱体结构,把持杆的下部具有一个位于把持杆下端上的内凹圆弧部和相接于内凹圆弧部上端的外凸圆弧部;内凹圆弧部和外凸圆弧部相对于把持杆中心位置的直径均大于把持杆的中部的直径;该支撑组件在垂直方向上绕其纵轴旋转,以用于沉积二氧化硅粉体,形成石英疏松体。
2.根据权利要求1所述的一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:该支撑杆的支撑下杆的最上端的直径设为R1,支撑下杆的最下端的直径设为R2,支撑下杆的长度为L,则该支撑下杆的锥度为(R2-R1):L;该支撑下杆的锥度控制为1:800~1:500。
3.根据权利要求2所述的一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:所述支撑下杆的锥度为1:600。
4.根据权利要求1所述的一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:所述支撑上杆的上端和把持杆的上部上均设有销孔,销钉穿过支撑上杆上的销孔和把持杆上的销孔,将支撑杆和把持杆进行连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:支撑上杆的直径小于支撑下杆的最上端的直径。
6.根据权利要求1所述的一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:支撑下杆的上端与把持杆的下端之间通过所述内凹圆弧部过渡相接,且把持杆的最下端的直径等于支撑下杆最上端的直径。
7.根据权利要求1所述的一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:把持杆的上端还具有一直径大于把持杆的中部的直径的把持部。
8.根据权利要求1所述的一种用于沉积石英疏松体的支撑组件,其特征在于:把持杆的圆柱孔道为上端封闭下端开放的结构。
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