[发明专利]可拆式粉末原子层沉积装置

权利要求书

1.一种可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：

一轴封装置；

一驱动单元，连接该轴封装置；

一真空腔体，透过至少一连接单元固定在该轴封装置上，并包括一反应空间用以容置复数个粉末，其中该驱动单元透过该轴封装置带动该真空腔体转动，该连接单元解除锁固后，该真空腔体由该轴封装置卸下；

至少一抽气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及

至少一进气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。

2.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该轴封装置为一磁流体轴封。

3.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该轴封装置包括一外管体及一内管体，该外管体包括一容置空间用以容置该内管体，而该内管体则包括至少一连接空间用以容置该抽气管线及该进气管线。

4.根据权利要求3所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该驱动单元透过该外管体连接该真空腔体，并带动该真空腔体转动。

5.根据权利要求3所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线位于该内管体的该连接空间内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将该非反应气体输送至该真空腔体的该反应空间，以吹动该反应空间内的该粉末。

6.根据权利要求3所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体的一底部包括一凹部，该凹部由该真空腔体的该底部延伸至该反应空间，用以容置凸出该轴封装置的该内管体，并在该反应空间内形成一凸出管部。

7.根据权利要求6所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，还包括一过滤单元位于该真空腔体的该凹部内，而该抽气管线及该进气管线经由该过滤单元流体连接该真空腔体的该反应空间。

8.根据权利要求3所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括一加热器及一温度感测单元设置在该内管体内，该加热器用以加热该内管体的该连接空间及该进气管线，而该温度感测单元则用以量测该内管体的该连接空间的温度。

9.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体的一底部设置一凹部，用以容置部分该轴封装置的一凸部。

10.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体包括一盖板及一腔体，该盖板的一内表面覆盖该腔体以在两者之间形成该反应空间，并于该盖板的该内表面设置一监控晶圆。