[发明专利]基板拾取装置及基板拾取方法在审
| 申请号： | 202011282074.0 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN113009729A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 中田胜喜 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;H01L21/683;C03B33/03 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 拾取 装置 方法 | ||
1.一种基板拾取装置，该基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置，其中，
所述基板拾取装置具备吸附手和控制部，
所述吸附手装配于机械臂并具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于所述按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附，
所述控制部执行以下步骤：使所述按压构件从上方按压所述边角料的步骤；使所述吸附部对所述拾取对象的基板进行吸附的步骤；以及通过使所述吸附部以相对于所述按压构件向斜上方离开的方式移动，而对所述拾取对象的基板进行拾取的步骤。
2.根据权利要求1所述的基板拾取装置，其中，
所述基板拾取装置还具备驱动装置，该驱动装置用于使所述吸附部相对于所述按压构件沿倾斜方向移动。
3.根据权利要求2所述的基板拾取装置，其中，
所述驱动装置具有多个工作缸。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板拾取装置，其中，
所述按压构件在俯视下呈L字形状。
5.一种基板拾取方法，该基板拾取方法是在基板拾取装置中拾取基板的方法，该基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置并具备装配于机械臂的吸附手，该吸附手具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于所述按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附，其中，
所述基板拾取方法具备：
使所述按压构件从上方按压所述边角料的步骤；
使所述吸附部对所述拾取对象的基板进行吸附的步骤；以及
通过使所述吸附部以相对于所述按压构件向斜上方离开的方式移动，而对所述拾取对象的基板进行拾取的步骤。
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