[发明专利]一种可自动更换抛光盘的抛光机

说明书

本发明公开了一种可自动更换抛光盘的抛光机，包括支架、固定架、气缸、抛光电机、滑块、滑轨、更换结构、滴流结构和定位夹持结构，所述支架的顶侧排布有滑轨，所述滑块的顶侧配合安装有抛光电机，所述固定架焊装在滑轨的端部，所述气缸通过螺栓配合安装在固定架上，所述气缸的作用杆端部焊装在抛光电机上，所述更换结构配合安装在抛光电机的转轴上，通过摆动马达作业，带动摆动齿轮旋转，在配合齿轮的配合下，能够带动配合轴旋转，安装架配合旋转，能够实现多个打磨片配合更换，在更换后，抛光电机带动安装框旋转，实现对晶体的抛光打磨，能够实现循环周期更换打磨片，能够大大提高抛光效率，而且能够保证抛光面的准确。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种可自动更换抛光盘的抛光机。

背景技术

半导体材料是现代半导体工业及微电子工业的基石。从物理角度来讲，它指的是导电性能介于导体和绝缘体之间的一类材料。

半导体材料种类繁多，大致可分为无机半导体晶体、有机半导体材料和非晶态半导体三种。当前，非晶态半导体材料在太阳能电池方面有很大的应用前景。但从整体看来，无机半导体晶体仍在半导体材料中占主导地位；

在对晶片或者晶体棒进行抛光时，一般通过抛光机对晶体进行抛光作业，在抛光过程中，需要更换抛光度不同的抛光片，对抛光片进行更换时，需要人工拆卸安装，校对，大大的影响抛光效率，降低工作效率。

发明内容

本发明解决的问题在于提供一种可自动更换抛光盘的抛光机，实现对晶体的抛光打磨，能够实现循环周期更换打磨片，能够大大提高抛光效率，而且能够保证抛光面的准确。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种可自动更换抛光盘的抛光机，包括支架、固定架、气缸、抛光电机、滑块、滑轨、更换结构、滴流结构和定位夹持结构，所述支架的顶侧排布有滑轨，所述滑轨上配合扣装有滑块，所述滑块的顶侧配合安装有抛光电机，所述固定架焊装在滑轨的端部，所述气缸通过螺栓配合安装在固定架上，所述气缸的作用杆端部焊装在抛光电机上，所述更换结构配合安装在抛光电机的转轴上，所述定位夹持结构安装在支架的顶侧，所述滴流结构配合安装在定位夹持结构的顶侧。

优选的，所述更换结构包括限位螺杆、摆动马达、摆动齿轮、配合齿轮、配合轴、安装架、打磨片和安装框，所述安装框的内部通过轴承配合穿设有配合轴，所述配合轴的中部外侧套装有安装架，所述安装架为正方形结构，所述安装架的四个平行侧面上均安装有打磨片，所述配合轴的端部配合安装有配合齿轮，所述摆动马达通过螺栓配合安装在安装框上，所述摆动马达的转轴上配合安装有摆动齿轮。

优选的，所述打磨片的中心轴线与抛光电机的中心轴线在同一直线上。

优选的，所述摆动齿轮和配合齿轮互为啮合结构，所述滑块的内部开设有螺孔，所述限位螺杆配合安装在螺孔内。

优选的，所述滴流结构包括支撑板、固定板、储液罐、导流囊、阀门、滑扣、导轨、限位杆、防护罩、喷头和收缩弹簧，所述支撑板的底侧排布有导轨，所述导轨上配合扣装有滑扣，所述固定板焊装在导轨的一端，所述限位杆焊装在固定板的一侧，所述限位杆的一端穿设在滑扣的内部，所述防护罩焊装在滑扣的底侧，所述喷头排布在防护罩的内壁顶侧，所述储液罐固定在支撑板的顶侧，所述储液罐和喷头之间通过导管连接，导管上串联有导流囊，导管上配合安装有阀门。

优选的，所述收缩弹簧套装在限位杆的另一端外部，所述收缩弹簧设置在固定板和滑扣之间。

优选的，所述定位夹持结构包括限位盘、夹持板、挤压弹簧、活动杆、定位螺杆和橡胶垫，所述限位盘的端面内部开设有限位槽，所述夹持板设置在限位槽内，所述夹持板的底侧粘贴有橡胶垫，所述定位螺杆焊装在夹持板的顶侧，所述定位螺杆穿设在限位盘的槽壁内，所述活动杆内部开设有螺孔，所述活动杆通过螺纹配合套装在定位螺杆的顶侧，所述挤压弹簧套装在活动杆的外部。