[发明专利]一种多晶元盘移载存放机构

权利要求书

1.一种多晶元盘移载存放机构，包括有多工位底板和底座，多工位底板滑动安装在底座上，其特征在于：所述多工位底板上表面一侧安装有用于存放晶元载盘的自动收集装置，自动收集装置包括气缸、左侧扶板、右侧扶板、后挡板和抬升底板，左侧扶板安装在可调式左限位上，右侧扶板安装在可调式右限位上，可调式左限位和可调式右限位相对安装在多工位底板表面，所述左侧扶板、右侧扶板和后挡板围绕在用于存放晶元载盘区间的四周中三个方向，所述抬升底板位于该区间的底部，且所述气缸驱动抬升底板上下移动，对称设置的可调式左限位和可调式右限位相对面上设有止挡块，止挡块端侧与反复堆垛在存放晶元载盘区间内的晶元载盘边缘相抵。

2.根据权利要求1所述的一种多晶元盘移载存放机构，其特征在于：对称设置的所述左侧扶板和右侧扶板的相对面上均设有安装槽，所述止挡块枢设于安装槽内，且止挡块与安装槽之间安装有弹簧，使止挡块在安装槽内可弹升或缩入。

3.根据权利要求2所述的一种多晶元盘移载存放机构，其特征在于：所述多工位底板边沿还安装有前导向块，且前导向块临近所述抬升底板。

4.根据权利要求1所述的一种多晶元盘移载存放机构，其特征在于：所述后挡板上设有第二光电传感器，用于检测所述晶元载盘是否满载。

5.根据权利要求1所述的一种多晶元盘移载存放机构，其特征在于：所述多工位底板表面设有若干个用于放置晶元盘的工位，相邻工位之间设有限位条，限位条上安装有用于限定晶元盘的弹簧压板。

6.根据权利要求5所述的一种多晶元盘移载存放机构，其特征在于；所述多工位底板上用于放置晶元盘的工位区间边沿设有前挡板。

7.根据权利要求5所述的一种多晶元盘移载存放机构，其特征在于；所述多工位底板上单个放置晶元盘的工位底部设有第一光电传感器。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种多晶元盘移载存放机构，其特征在于：所述底座沿其线性方向的两侧设有直线导轨，所述多工位底板通过直线导轨与底座滑动连接，底座与多工位底板之间安装有滚珠丝杆，多工位底板与滚珠丝杆螺纹连接，滚珠丝杆受安装在底座端部的伺服电机驱动做周身旋转，驱动多工位底板做线性移动。