[发明专利]一种切片机用粘棒板

说明书

本发明提供一种切片机用粘棒板，在粘棒板内部设有若干孔，所述孔沿所述粘棒板宽度方向设置。本发明提出的粘棒板，在保证硅棒粘接强度及切片质量不受影响的同时，还能缩短收刀切割时间，降低金刚线磨损几率，并最大限度地降低生产成本，与硅棒的尺寸和形状无关，适普性广，切割效率高。

技术领域

本发明属于硅片加工技术领域，尤其是涉及一种切片机用粘棒板。

背景技术

硅片加工前需要将硅棒粘接放置到已经与粘接固定在料座一侧的粘棒板上，之后再将料座装夹到线切割机上进行切割，每切割一批次硅棒就需要使用一批粘棒板，粘棒板可重复使用，但不能无限制地多次使用，是硅片加工过程中的高耗材件。现有粘棒板均为实心结构的酚醛树脂板，但这种结构不仅生产成本高，而且硬度较大。在硅棒切割末期，即收刀时，为了切透硅棒，金刚线会切入粘棒板部分深度，这使得对金刚线需要克服较大的硬度阻力才能将硅棒切透，导致硅棒被切透的加工时间较长；还有在硅片提料时，金刚线需撤出粘棒板，会进一步增加对金刚线的磨损。

同时，由于金刚线在硅棒两端位置的张力与其在硅棒中间位置的张力不同，即在硅棒两端位置处的金刚线的张力大于位于中间位置处的金刚线的张力，使得切入粘棒板中的深度不同。所以如何设计一种新型粘棒板结构，在保证切片质量、硅棒粘接强度不受影响的同时，还能缩短收刀切割时间，降低金刚线磨损几率，并最大限度地降低生产成本，是高质量、低成本加工硅片的关键。

发明内容

本发明提供一种切片机用粘棒板，解决了现有技术中收刀切割时间长、金刚线磨损严重的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：

一种切片机用粘棒板，在粘棒板内部设有若干孔，所述孔沿所述粘棒板宽度方向设置。

进一步的，至少沿所述粘棒板长度最外侧的所述孔的外侧壁至所述粘棒板端部有一定距离。

优选地，沿所述粘棒板长度最外侧的所述孔的外侧壁至所述粘棒板端部的距离不大于所述粘棒板长度的1/6且不小于所述粘棒板长度的1/30。

进一步的，所述孔的轴线与所述粘棒板轴线交叉设置。

优选地，所述孔为通孔，贯穿所述粘棒板宽度，并沿所述粘棒板长度方向并排或沿所述粘棒板厚度方向错位设置。

优选地，所述孔为盲孔，分设于所述粘棒板宽度两侧，并沿所述粘棒板轴线对称或错位设置。

优选地，沿所述粘棒板厚度的所述孔的最低位置与所述粘棒板粘接硅棒一侧面的距离大于所述粘棒板厚度的1/5。

优选地，所述孔的横截面沿所示粘棒板厚度方向的最大高度大于所述粘棒板厚度的1/2且小于所述粘棒板厚度的3/5。

优选地，沿所述粘棒板长度方向任一相邻所述孔的最小间距不小于2mm；且沿所述粘棒板厚度任一相邻所述孔的最大间距不大于所述粘棒板厚度的1/4。

进一步的，所述孔的横截面为圆形、椭圆形、三角形或多边形的任一种或任一组合。

与现有技术相比，在保证硅棒粘接强度及切片质量不受影响的同时，还能缩短收刀切割时间，降低金刚线磨损几率，并最大限度地降低生产成本，与硅棒的尺寸和形状无关，适普性广，切割效率高。

附图说明

图1是本发明一实施例的粘棒板与料板、料座配合的结构示意图；

图2是本发明实施例一的通孔结构的粘棒板的俯视图；

图3是本发明如图2中的一种并排设置的通孔结构分布的粘棒板的侧视图；

图4是本发明如图2中的一种交错设置的通孔结构分布的粘棒板的侧视图；

图5是本发明实施例二的一种对称设置的盲孔结构的粘棒板的俯视图；