[发明专利]一种表面开槽的兰姆波谐振器

权利要求书

1.一种表面开槽的兰姆波谐振器，其特征在于，包括压电模块(101)、汇流条(102)、电极(103)和凹槽(105)；

所述电极(103)位于所述压电模块(101)上表面，且呈周期性排布；在所述电极(103)沿孔径方向的两端设置有汇流条(102)；每隔n个电极，在所述压电模块(101)上表面设置有所述凹槽(105)；其中，n≥1；

所述凹槽(105)用于通过破坏所述压电模块(101)表面的连续性，抑制杂散波。

2.根据权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，还包括假指(104)，所述假指(104)位于每个所述电极(103)末端与所述汇流条(102)之间，用于抑制能量的横向泄露，提高谐振器的Q值。

3.根据权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述压电模块(101)为钽酸锂。

4.根据权利要求1至3任一所述的兰姆波谐振器，其特征在于，每隔两个所述电极(103)，在所述压电模块(101)上设置所述凹槽(105)。

5.根据权利要求4所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述凹槽(105)的宽度为凹槽两侧所述电极(103)之间的距离，所述凹槽(105)沿孔径方向的长度为同一径向两端所述汇流条(102)之间的距离。

6.根据权利要求2所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述假指(104)的材料为铝。