[发明专利]一种基于放电的二次电子发射系数测量装置及方法

权利要求书

1.一种基于放电的二次电子发射系数测量装置，包括放电箱(1)，其特征在于：所述放电箱(1)内设置两个放电腔，分别为上放电腔(3)和下放电腔(4)，所述上放电腔(3)包括上放电板(10)，所述上放电板(10)与放电箱(1)上内侧壁构成上放电腔(3)，所述下放电腔(4)包括下放电板(11)，所述下放电板(11)与放电箱(1)下内侧壁构成下放电腔(4)，所述放电箱(1)左端内侧壁上设置阴极板(2)，所述上放电腔(3)右端内侧壁上设置上阳极板(5)，所述下放电腔(4)右端内侧壁上设置下阳极板(6)，所述上放电板(10)和下放电板(11)均可与放电箱(1)相对来回移动来改变上放电腔(3)和下放电腔(4)空间大小，以远离或靠近上阳极板(5)或下阳极板(6)的运动方式来回移动。

2.根据权利要求1所述的一种基于放电的二次电子发射系数测量装置，其特征在于：所述放电箱(1)采用透明的石英材料。

3.根据权利要求1所述的一种基于放电的二次电子发射系数测量装置，其特征在于：所述放电箱(1)侧壁上设置气压孔(7)。

4.根据权利要求1所述的一种基于放电的二次电子发射系数测量装置，其特征在于：所述下放电板(11)横向长度大于上放电板(10)横向长度。

5.一种基于放电的二次电子发射系数测量方法，其特征在于：包括以下步骤，S1：将上放电板(10)左端内侧壁上贴上待测材料(8)，下放电板(11)左端内侧壁上贴上基准材料(9)；

S2：S1步骤完成后，阴极板引出导线接电源负极，上阳极板(5)和下阳极板(6)引出导线共接电源正极；

S3：移动上放电板(10)，使上放电腔(3)的空间体积小于下放电腔(4)，逐渐增大电源电压，使下放电腔(4)能够放电，进一步移动上放电板(10)，以远离或靠近上阳极板(5)或下阳极板(6)的运动方式来回移动，直到上放电腔(3)能够放电，此时分别记录上放电腔(3)和下放电腔(4)的长度L2和L1；

S4：利用汤生自持放电条件公式：γ·(e^α·L-1)＝1，其中α为汤生第一电离系数，代表的是电子与中性气体碰撞的电离倍增作用；γ为阴极发射的二次电子数与入射到阴极电子数之比，也就是二次电子发射系数，L为放电时两个极板之间的距离；对于相同气体，气压，电场的情况下，α值相同；将两个放电腔二次电子发射系数之间的关系分别改写成：

两个方程取自然对数后，相除可以进一步得到：

该方程整理后得到因此根据已知材料的γ₁和两种情况下的自维持放电长度L1,L2，可得到未知材料的二次电子发射系数γ₂。