[发明专利]光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法

说明书

本发明公开了一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。另外本发明还公开了使用该自动补给装置的自动补给方法，该自动补给方法和装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。

技术领域

本发明涉及一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法，属于半导体光刻机的空调氟利昂补给技术领域。

背景技术

光刻机是一种芯片生产中的必要设备；光刻机的光刻环境要求比较苛刻，对于外界环境必须恒温恒湿，同时光刻机自身的机器内部的温度也必须满足要求。而由于光刻机的使用年限比较长，对于一些出厂年份比较老的光刻机，这些老的光刻机的空调还是使用氟利昂，在长期的使用过程中，氟利昂可能出现泄漏的情况，这样导致空调的效果降低，光刻机内部的温度就会升高，导致光刻质量降低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，该自动补给装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。

本发明所要解决的另一个技术问题是：提供一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，该自动补给方法可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。

作为一种优选的方案，所述氟利昂储罐的数量为两个，补给管路分别通过分补给管路与两个氟利昂储罐的出口相连接，所述电磁阀的数量为两个且分别设置在分补给管路上。

作为一种优选的方案，所述箱体为封闭的箱体，所述箱体内设置有用来测试箱体内氟利昂浓度的氟利昂气体泄露报警器，所述箱体的侧壁上还设置有抽气口，所述抽气口连接抽气管路系统。

作为一种优选的方案，所述抽气管路系统包括抽气泵，所述抽气泵的抽吸口通过第一抽吸管路与抽气口相连通，所述抽吸泵的排气口连接排气管道，该排气管道连接废气储存罐。

作为一种优选的方案，所述抽吸管路上还连接有第二抽吸管路，所述第二抽吸管路与存放所述光刻机空调的空调存放腔室连通，所述第二抽吸管路和第一抽吸管路上均设置有电磁阀，所述空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器。

采用了上述技术方案后，本发明的效果是：由于自动补给装置包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力表和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接，因此，该自动补给装置具备以下优点：1.整个自动补给装置集成在一个箱体内，然后通过快速接头与补给口连接，这样非常方便固定在光刻机的机架上；2.该自动补给装置可以实现自动补给，只需要控制器与测压传感器进行信号连接，就可以通过监控氟利昂管道内的压力来自动补给，而补给管路上的压力传感器可以检测补给管路上的压力，从而得到氟利昂储罐内的氟利昂量，当氟利昂储罐内的压力减少时可以提示更换，因此该自动补给装置可以自动给光刻机空调进行补给，改造相对简单。