[发明专利]半导体材料的制备方法、钙钛矿半导体器件及其制备方法在审
申请号: | 202011292188.3 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN112490369A | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 杨世和;刘通发 | 申请(专利权)人: | 北京大学深圳研究生院 |
主分类号: | H01L51/46 | 分类号: | H01L51/46;H01L51/48;H01L51/42 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 刘方 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体材料 制备 方法 钙钛矿 半导体器件 及其 | ||
1.半导体材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)沉积羧酸盐溶液;或者先沉积有机胺盐或脒盐溶液,再沉积羧酸盐溶液;所述羧酸盐溶液选自羧酸铅溶液、羧酸锡溶液中的至少一种;
(2)沉积有机胺盐或脒盐溶液;
(3)在50℃~160℃进行退火。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述有机胺盐或脒盐溶液中的有机胺盐或脒盐的分子式为AX,A为甲胺、乙胺、丙胺、丁胺、苯乙胺、乙二胺、丙二胺、丁二胺、戊二胺、甲脒、乙脒、氯乙脒、三氟乙脒中一种或任意两种的组合或三种的组合;B为铅、锡;X可为碘、溴、氯中一种或任意两种的组合或三种的组合。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述羧酸盐溶液中的溶剂选自乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、异丙醇、丙醇、叔丁醇、正丁醇、戊醇、叔戊醇、乙酸乙酯、甲酸乙酯、乙酸甲酯、丙酸丙酯中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述有机胺盐或脒盐溶液中的溶剂选自甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、叔丁醇、环丙烷、乙酸乙酯中的至少一种。
5.根据权利要求1至4任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)和(2)中所述沉积的方式为旋涂法、刮涂法、狭缝涂布法、印刷、滴涂、喷涂、卷对卷涂覆法中的至少一种。
6.钙钛矿半导体器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
依次制备层叠设置的基底、透明导电电极、电子传输层、钙钛矿层和碳电极;
在所述碳电极上依次沉积羧酸盐溶液和有机胺盐或脒盐溶液,或者在所述碳电极上依次沉积有机胺盐或脒盐溶液、羧酸盐溶液、和沉积有机胺盐或脒盐溶液,其中,所述羧酸盐溶液选自羧酸铅溶液、羧酸锡溶液中的至少一种;
在50℃~160℃进行退火。
7.根据权利要求6所述的钙钛矿半导体器件的制备方法,其特征在于,所述有机胺盐或脒盐溶液中的有机胺盐或脒盐的分子式为AX,A为甲胺、乙胺、丙胺、丁胺、苯乙胺、乙二胺、丙二胺、丁二胺、戊二胺、甲脒、乙脒、氯乙脒、三氟乙脒中一种或任意两种的组合或三种的组合;B为铅、锡;X可为碘、溴、氯中一种或任意两种的组合或三种的组合。
8.根据权利要求6所述的钙钛矿半导体器件的制备方法,其特征在于,所述碳电极由包括碳材料、粘结剂、分散剂和溶剂的物料混合制成,优选所述碳材料包括石墨、炭黑、碳纳米管中的至少一种。
9.钙钛矿半导体器件,其特征在于,根据权利要求6至8任一项所述的钙钛矿半导体器件的制备方法制得。
10.权利要求9所述的钙钛矿半导体器件在太阳能电池发电、探测可见光信号中的应用。
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