[发明专利]流路接头构造

说明书

流路接头构造(1)具有：第1外螺纹部(11)，其设置于第1配管块(51)；第2外螺纹部(12)，其设置于第2配管块(52)；双端螺母(13)，其在轴向一侧具有与第1外螺纹部(11)螺合的第1内螺纹部(13a)，且在轴向另一侧具有与第2外螺纹部(12)螺合的第2内螺纹部(13b)；以及衬垫(14)，其在双端螺母(13)的径向内侧对流路孔(510、520)彼此的连接部分进行密封。第1外螺纹部(11)及第1内螺纹部(13a)为右旋螺纹，第2外螺纹部(12)及第2内螺纹部(13b)为左旋螺纹。流路接头构造(1)具有设置于第1及第2配管块(51、52)、且表示第1及第2外螺纹部(11、12)的紧固方向的第1标记部(61、62)。

技术领域

本发明涉及一种流路接头构造。

背景技术

关于在半导体、液晶、有机EL等各种技术领域的制造工序中处理的药液等流体的配管路径，作为将在泵、阀、储液器、过滤器、流量计、压力传感器以及配管块(block)等2个流体设备形成的流路孔彼此以最短的方式连接的流路接头构造，已知图28所示的构造。该流路接头构造以如下方式构成，即，利用套筒102和双端螺母103将2个流体设备110分别与形成为所需最小限度的长度的管101的两端连接(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2014-219060号公报

发明内容

在半导体、液晶、有机EL等的制造工序中，关于在对药液进行输送并使其循环时使用的流路接头构造而优选节省其设置空间。然而，图28所示的流路接头构造需要用于设置管101及2个双端螺母103的设置空间，因此存在无法节省空间地设置流路接头构造的问题。因此，研究了以能够节省空间地设置流路接头构造的方式仅利用1个双端螺母将2个流体设备的流路孔彼此连接。

具体而言，存在如下双端螺母等，即，在双端螺母的内周的轴向一侧形成有右旋内螺纹、且在双端螺母的内周的轴向另一侧形成有左旋内螺纹而具有双内螺纹。如果对该双端螺母向一个方向进行紧固，则双端螺母的右旋内螺纹与一个流体设备的右旋外螺纹螺合，并且双端螺母的左旋内螺纹与另一个流体设备的左旋外螺纹螺合。由此，经由衬垫而将2个流体设备的流路孔彼此连接。然而，关于具有上述双端螺母的流路接头构造，例如，如果作业者误使双端螺母的右旋内螺纹与流体设备的左旋外螺纹螺合，则该右旋内螺纹及左旋外螺纹的螺纹牙有可能会破损。

本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于能够节省空间地设置流路接头构造，且能够抑制螺纹牙破损。

(1)本发明的流路接头构造是将分别形成于第1流体设备及第2流体设备的流路孔彼此连接的流路接头构造，其中，所述流路接头构造具有：第1外螺纹部，其设置为从所述第1流体设备的一端面凸出，配置于该第1流体设备的流路孔的径向外侧；第2外螺纹部，其设置为从所述第2流体设备的一端面凸出，配置于该第2流体设备的流路孔的径向外侧；双端螺母，其在轴向一侧具有与所述第1外螺纹部螺合的第1内螺纹部，在轴向另一侧具有与所述第2外螺纹部螺合的第2内螺纹部；以及密封部件，其在所述双端螺母的径向内侧使得所述第1内螺纹部与所述第1外螺纹部螺合且使得所述第2内螺纹部与所述第2外螺纹部螺合，由此对所述第1流体设备及第2流体设备的流路孔彼此的连接部分进行密封，所述第1外螺纹部及所述第1内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹的任一者，所述第2外螺纹部及所述第2内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹的另一者，所述流路接头构造具有第1标记部，该第1标记部设置于所述第1流体设备及所述第2流体设备中的至少一个流体设备，表示所述第1外螺纹部及所述第2外螺纹部中的在所述一个流体设备设置的外螺纹部的紧固方向。