[发明专利]一种显影液的温控装置及其温控方法

权利要求书

1.一种显影液的温控装置，包括显影液供应管，其特征在于：所述温控装置还包括第一换热三通接头、第二换热三通接头和换热套管，所述第一换热三通接头上设置有相互连通的第一贯穿管口、第一连接管口和换热介质注入管口，所述第二换热三通接头上设置有相互连通的第二贯穿管口、第二连接管口和换热介质流出管口，所述换热套管套装在显影液供应管的外部一段，所述显影液供应管依次贯穿第一换热三通接头的第一贯穿管口和第一连接管口、第二换热三通接头上的第二连接管口和第二贯穿管口，所述显影液供应管与第一贯穿管口和第二贯穿管口之间密封配合；所述换热套管一端密封插装固定于第一换热三通接头的第一连接管口，另一端密封插装固定于第二换热三通接头的第二连接管口，所述换热介质注入管口上密封插装有换热介质供应管，所述换热介质流出管口密封插装有换热介质流出管，所述换热介质供应管和换热介质流出管分别连接对换热介质进行调温的调温换热装置。

2.如权利要求1所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述第一贯穿管口的直径大于显影液供应管，所述第一贯穿管口上设置有台阶孔，台阶孔的底部安装有密封圈，所述台阶孔内螺纹安装有中空的压紧螺柱。

3.如权利要求2所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述换热介质注入管口和换热介质流出管口的结构相同，所述换热介质注入管口上设置有连接螺口，所述连接螺口螺纹连接接插头的一端，所述接插头的另一端设置有阶梯孔且设置了外螺纹段，所述换热介质供应管的端部活动安装有第一压紧螺套，所述换热介质供应管插入所述阶梯孔内且所述第一压紧螺套与外螺纹段螺纹连接。

4.如权利要求3所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述第一连接管口和第二连接管口的结构相同，所述第一连接管口上螺纹安装有连接管接头，所述连接管接头内部设置有贯通孔且另一端设置有安装台阶孔，所述换热套管的两端分别活接有第二压紧螺套，所述换热套管插入所述安装台阶孔内且通过第二压紧螺套螺纹连接。

5.如权利要求4所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述第一连接管口上的接插头上的阶梯孔的内沿设置成倾斜的内倒角，所述换热介质供应管的端部设置有圆锥凸环，所述圆锥凸环的小径端朝向接插头且插入所述阶梯孔内与内倒角密封配合，所述第一压紧螺套与圆锥凸环的大径端的底面设置有密封圈。

6.如权利要求5所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述调温换热装置包括箱体，所述箱体内设置有第一热交换模块和第二热交换模块，第一热交换模块和第二热交换模块之间贴合有珀尔帖元件，所述第一热交换模块上设置介质通道且介质通道两端分别设置介质入口和介质出口，所述换热介质供应管和换热介质流出管分别与介质入口和介质出口相连通，所述换热介质供应管或换热介质流出管上设置输送泵，所述第二热交换模块上设置有水循环通道且水循环通道两端设置进水口和出水口，进水口和出水口分别与循环水管路相连通，所述箱体内设置有控制所述珀尔帖元件工作的温度控制器。

7.如权利要求6所述的一种显影液的温控装置，其特征在于：所述换热介质供应管和换热介质流出管为一条换热介质管道，所述换热介质管道贯穿所述第一热交换模块上介质通道。

8.一种显影液的温控方法，其特征在于：该温控方法使用了权利要求1至7任一项所述的温控装置，包括以下步骤：

S1、将换热套管的两端固定在第一换热三通接头和和第二换热三通接头之间；

S2、将显影液供应管插入顺次插入第一换热三通接头、换热套管和第二换热三通接头后并密封固定；

S3、根据显影液的使用环境，确定显影液的使用温度为23±0.1℃，利用调温换热装置对换热介质供应管中的换热介质调温，控制换热介质的温度为23+0.1℃；

S4、启动显影液输出泵，显影液从显影液瓶中经过显影液供应管流入半导体生产设备中，显影液在换热套管内部进行连续热交换，显影液在显影液供应管中流出热交换终止点前显影液和换热套管内的换热介质温度相同。

9.如权利要求8所述的一种显影液的温控方法，其特征在于：所述调温换热装置调控换热介质的方法为：利用温度传感器检测换热介质的温度，当温度低于23+0.1℃时，温度控制器控制珀尔帖元件提供直流电对第一热交换模块中流过的换热介质进行加热；而当温度高于23+0.1℃时，温度控制器控制珀尔帖元件提供反向的直流电对第一热交换模块中流过的换热介质进行降温。