[发明专利]一种可再编程驱动微柱阵列的制备方法

权利要求书

1.一种可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1)将光固化高弹性树脂滴到带有规则微米级柱腔阵列的模板上，通过真空辅助成型使树脂渗透到模板的柱腔内；

2)将带有规则微米级微柱阵列的冲模冲压到模板上，排出柱腔中部分树脂，柱腔中剩余树脂包裹冲模微柱；所述微柱阵列与所述柱腔阵列匹配，且微柱直径略小于柱腔直径；

3)通过光照使模板和冲模之间的光固化树脂反应固化，柱腔与微柱之间的剩余树脂固化成圆鞘状；

4)将冲模从模板上移除，在模板上得到带有规则微米级圆鞘状空腔阵列的树脂外壳；

5)将混有磁性纳米粒子的复合树脂滴到树脂外壳上，使得复合树脂渗透到树脂外壳的空腔阵列内；所述磁性纳米粒子有非磁性物质包裹；

6)将聚对苯二甲酸乙二醇酯基底覆盖到树脂外壳上，基底与树脂外壳结合；复合树脂可以在空腔内部自由流动而不会流出；

7)将结合的基底与树脂外壳从模板上剥离，得到液核/固壳的磁性微柱阵列。

2.如权利要求1所述可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于步骤1)所述光固化高弹性树脂为添加有光引发剂的聚氨酯丙烯酸酯树脂。

3.如权利要求1所述可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于步骤1)所述带有规则微米级柱腔阵列的模板为硅模板；其中柱腔直径5μm，深度40μm，间距20μm。

4.如权利要求1所述可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于步骤2)所述带有规则微米级微柱阵列的冲模为硅冲模；其中微柱直径3μm，高度39μm，微柱间距22μm。

5.如权利要求1所述可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于步骤5)中所述复合树脂为磁性纳米粒子与PUA树脂的混合物。

6.如权利要求1所述可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于步骤5)中所述磁性纳米粒子在复合树脂中的质量分数为10-30wt％，直径为20-40nm。

7.如权利要求1所述可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于步骤5)中所述非磁性物质为SiO₂、SiC、Si₃N₄、TiN、TiO₂、TiC、BN中的一种或混合。

8.如权利要求1所述可再编程驱动微柱阵列的制备方法，其特征在于步骤5)中所述磁性纳米粒子为Fe、Fe₂O₃、Fe₃O₄、Co、Ni中的一种或混合。