[发明专利]压电式微机电系统麦克风及其制造方法

权利要求书

1.一种压电式微机电系统麦克风，其中，包括：

衬底，所述衬底中设有背腔，所述背腔贯穿所述衬底；

支撑氧化层，位于所述衬底上，所述支撑氧化层围成空腔；

背极板和振膜，所述背极板和所述振膜的边缘由所述支撑氧化层支撑，所述背极板包括多个声孔，所述多个声孔、所述空腔和所述背腔连通，所述振膜包括第一部分振膜和第二部分振膜，所述第一部分振膜位于所述空腔中，所述第二部分振膜位于所述支撑氧化层中；

压电结构，包括多个一维压电纳米结构，所述一维压电纳米结构的第一端与所述背极板电连接，第二端与所述第一部分振膜电连接；

其中，位于所述空腔的所述背极板、所述第一部分振膜和所述一维压电纳米结构形成声压信号采集结构。

2.根据权利要求1所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述压电结构为所述多个一维压电纳米结构。

3.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述多个一维压电纳米结构在声压信号作用下产生电势差。

4.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述背极板位于所述振膜的上方。

5.根据权利要求4所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述压电式微机电系统麦克风还包括：

第一电极，位于所述支撑氧化层上，通过所述支撑氧化层的第一开口与所述第二部分振膜电连接；

第二电极，位于所述背极板上，与所述背极板电连接。

6.根据权利要求5所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述压电式微机电系统麦克风还包括：

钝化层，位于所述背极板和所述支撑氧化层上，所述钝化层包括多个第二开口，所述第二开口与所述声孔对应设置，所述钝化层暴露出所述第一电极和所述第二电极。

7.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述振膜位于所述背极板的上方。

8.根据权利要求7所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述压电式微机电系统麦克风还包括：

第一电极，位于所述第二部分振膜上，与所述第二部分振膜电连接；

第二电极，位于所述支撑氧化层上，通过所述支撑氧化层的第一开口与所述背极板电连接。

9.根据权利要求8所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述压电式微机电系统麦克风还包括：

钝化层，位于所述支撑氧化层上，覆盖所述第二部分振膜和所述支撑氧化层的裸露表面，暴露出所述第一部分振膜、所述第一电极和所述第二电极。

10.根据权利要求9所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述钝化层还覆盖所述支撑氧化层的部分侧壁。

11.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述第一部分振膜的尺寸小于所述空腔的尺寸。

12.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述第一部分振膜的尺寸小于所述背腔的尺寸。

13.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述多个一维压电纳米结构分布在所述第一部分振膜的中心位置。

14.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述多个一维压电纳米结构分布在所述第一部分振膜的外围周边。

15.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述多个一维压电纳米结构分布在整个所述第一部分振膜。

16.根据权利要求1或2所述的压电式微机电系统麦克风，其中，所述一维压电纳米结构的第一端嵌入所述背极板，第二端嵌入所述第一部分振膜。