[发明专利]一种石英舟翻转搬运装置在审
| 申请号： | 202011296791.9 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112389985A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;庞爱锁;裴维维 | 申请（专利权）人： | 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/248 | 分类号： | B65G47/248;B65G43/08;B65G47/90 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 翻转 搬运 装置 | ||
1.一种石英舟翻转搬运组件，包括直线电机(1)、安装框架(2)，所述安装框架(2)通过所述直线电机(1)的驱动滑移设置在机架上，所述安装框架(2)上设置有第一气动组件(3)及翻转台组件(5)，所述第一气动组件(3)的固定端与所述安装框架(2)固定设置，所述第一气动组件(3)的固定端铰接设置在所述安装框架(2)上，所述第一气动组件(3)的活动端指向所述翻转台组件(5)设置，并且用于驱动所述翻转台组件(5)转动。
2.根据权利要求1所述的石英舟翻转搬运组件，其特征在于：所述第一气动组件(3)的活动端设置有转动组件(4)，所述转动组件(4)一端固定所述第一气动组件(3)的端部，另外一端与所述翻转台组件(5)转动设置。
3.根据权利要求2所述的石英舟翻转搬运组件，其特征在于：所述翻转台组件(5)上设置有夹紧组件(10)，所述夹紧组件(10)用于固定所述石英舟及硅片，所述夹紧组件(10)上设置有挡条组件(8)及压块组件(9)。
4.根据权利要求3所述的石英舟翻转搬运装置，其特征在于：所述夹紧组件(10)上还设置有第二气动组件(6)及第三气动组件(7)，所述第二气动组件(6)与所述第三气动组件(7)一端固定在夹紧组件(10)上，另外一端分别与所述挡条组件(8)及所述压块组件(9)连接设置，并用于驱动所述档条组件及压块组件(9)的滑移。
5.根据权利要求4所述的石英舟翻转搬运装置，其特征在于：所述翻转台组件(5)与所述夹紧组件(10)之间设置有第四气动组件(11)，所述第四气动组件(11)用于驱动所述夹紧组件(10)在垂直于所述直线电机(1)的长度方向的方向滑移设置。
6.根据权利要求5所述的石英舟翻转搬运装置，其特征在于：所述夹紧组件(10)上还设置有若干工装。
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