[发明专利]一种靶材冷却背板及其制备方法

权利要求书

1.一种靶材冷却背板，其特征在于，所述靶材冷却背板包括基座(1)和盖板(2)，所述基座(1)包括冷却水道(11)以及进水口(12)和出水口(13)，所述进水口(12)和所述出水口(13)开设在所述基座(1)的底面上，所述冷却水道(11)与所述进水口(12)和所述出水口(13)之间分别开通斜水道(14)，所述基座(1)在所述进水口(12)和所述出水口(13)周围分别开设有法兰连接孔(15)；

其中，所述斜水道的斜度为10-30度；所述盖板(2)的厚度为4.5-5mm；所述冷却水道(11)的宽度为30-50mm，深度为8-12mm；

所述靶材冷却背板采用如下方法进行制备，所述方法包括如下步骤：

(1)将所述基座(1)和所述盖板(2)进行机加工；

其中，所述基座(1)先机加工出所述冷却水道(11)，再机加工出所述进水口(12)和所述出水口(13)，然后机加工出所述斜水道(14)，最后在所述进水口(12)和所述出水口(13)周围机加工所述法兰连接孔(15)；

(2)将步骤(1)机加工得到的所述基座(1)和所述盖板(2)进行装配处理，经过真空钎焊得到靶材冷却背板粗品；

(3)将步骤(2)得到的靶材冷却背板粗品按照目标外部形状的尺寸要求进行机加工，得到所述靶材冷却背板；

在步骤(3)所述机加工进行之前，将所述靶材冷却背板粗品放置在等高的凸台上。

2.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，在所述冷却水道(11)的内表面设置喷砂层。

3.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述靶材冷却背板的外部形状为长方形、圆形或三角形中的任意一种。

4.一种权利要求1-3任一项所述靶材冷却背板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将所述基座(1)和所述盖板(2)进行机加工；

其中，所述基座(1)先机加工出所述冷却水道(11)，再机加工出所述进水口(12)和所述出水口(13)，然后机加工出所述斜水道(14)，最后在所述进水口(12)和所述出水口(13)周围机加工所述法兰连接孔(15)；

(2)将步骤(1)机加工得到的所述基座(1)和所述盖板(2)进行装配处理，经过真空钎焊得到靶材冷却背板粗品；

(3)将步骤(2)得到的靶材冷却背板粗品按照目标外部形状的尺寸要求进行机加工，得到所述靶材冷却背板；

在步骤(3)所述机加工进行之前，将所述靶材冷却背板粗品放置在等高的凸台上。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，将所述凸台放置在所述靶材冷却背板粗品的边缘处。

6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述凸台呈圆柱状，直径为10-20mm，高度为0.5-2mm。

7.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述机加工包括铣削。

8.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述机加工包括铣削。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，对于所述基座(1)和所述盖板(2)，先通过粗铣加工出轮廓，再通过精铣加工出具体结构。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述粗铣的铣刀直径为10-15mm，所述精铣的铣刀直径为3-5mm。

11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述铣刀为硬质合金铣刀。

12.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述铣刀的转速为8000-12000rpm。