[发明专利]搬送车

说明书

本发明提供搬送车，其能够高效且安全地搬送被加工物。该搬送车在设置于加工装置的上方的搬送路上行驶而搬送被加工物，其中，该搬送车具有：框架，其安装有行驶用的车轮；容器，其对该被加工物进行收纳；升降单元，其设置于该框架，悬吊该容器而使该容器升降；以及罩，其设置于该框架，该容器具有当将该被加工物向该容器搬入或从该容器搬出时供该被加工物通过的开口，在该被加工物在该搬送路上被搬送时，该升降单元将该容器配置于储存区域，该罩将配置于该储存区域的该容器的该开口覆盖。

技术领域

本发明涉及在被加工物的搬送中使用的搬送车。

背景技术

在组装于电子设备等的器件芯片的制造工序中，通过各种加工装置对半导体晶片或树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬送被加工物时，通常使用能够收纳多个被加工物的盒。当加工装置接受收纳有多个被加工物的状态的盒时，从该盒中依次取出被加工物而进行加工。

为了提高被加工物的加工的效率，有时也并行使用多个加工装置。在该情况下，必须在适当的时机对多个加工装置分别搬送被加工物。因此，提出了如下的搬送系统：通过搬送用的路径(搬送路)来连接多个加工装置，从而实现对各加工装置搬送被加工物(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平6-177244号公报

另外，为了最大限度地发挥多个加工装置所具有的能力，重要的是对各加工装置效率良好且安全地搬送被加工物。但是，由于被加工物的搬送所涉及的各种装置的构造上的原因等，有时无法实现被加工物的顺利的搬送。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供搬送车，其能够效率良好且安全地搬送被加工物。

根据本发明的一个方式，提供搬送车，其在设置于加工装置的上方的搬送路上行驶而搬送被加工物，其中，该搬送车具有：框架，其安装有行驶用的车轮；容器，其对该被加工物进行收纳；升降单元，其设置于该框架，悬吊该容器而使该容器升降；以及罩，其设置于该框架，该容器具有当将该被加工物搬入至该容器或从该容器搬出时该被加工物所通过的开口，当该被加工物在该搬送路上被搬送时，该升降单元将该容器配置于储存区域，该罩将配置于该储存区域的该容器的该开口覆盖。

在本发明的一个方式中，优选该罩具有：接触部，其与配置于该储存区域的该容器接触；以及盖部，其覆盖该容器的该开口，当该容器配置于该储存区域而与该接触部接触时，该盖部移动至覆盖该容器的该开口的位置。

另外，优选在该罩中的覆盖该容器的该开口的区域中设置有柔软部件。

另外，优选该柔软部件是海绵。

通过使用本发明的一个方式的搬送车，能够效率良好且安全地搬送被加工物。

附图说明

图1是示出搬送系统的结构例的俯视图。

图2是示出搬送系统的连接关系的例子的功能框图。

图3是示意性示出装载机/卸载机的结构例的侧视图。

图4的(A)是示出外门关闭、内门打开的状态的局部剖视侧视图，图4的(B)是示出外门打开、内门关闭的状态的局部剖视侧视图。

图5的(A)是示出盒载置台等的局部剖视侧视图，图5的(B)是示出盒载置台的底面图。

图6的(A)是示出将盒载置台从内部收纳区域向外侧拉出的情况的局部剖视侧视图，图6的(B)是示出辊从支承台脱落的情况的局部剖视侧视图，图6的(C)是示出使盒载置台向内部收纳区域返回的情况的局部剖视侧视图。

图7的(A)是示出在两条上层导轨上暂放被加工物单元的情况的局部剖视侧视图，图7的(B)是示出在两条下层导轨上暂放被加工物单元的情况的局部剖视侧视图。