[发明专利]自愈式金属化薄膜制备装置

权利要求书

1.自愈式金属化薄膜制备装置，其特征在于：包括蒸镀箱和金属化薄膜主体，所述蒸镀箱的一侧设有送料箱，所述蒸镀箱的另一侧设有收料箱，所述收料箱的内部安装有收料卷筒和方阻检测机构；所述方阻检测机构安装于所述收料卷筒的内侧，所述方阻检测机构用以测量金属化薄膜的方阻；所述方阻检测机构的顶部间隔设有第一支撑座，所述第一支撑座设于所述收料箱的内部顶面，所述金属化薄膜主体穿过第一支撑座、方阻检测机构之间，所述金属化薄膜主体的输出端部缠绕于所述收料卷筒上。

2.根据权利要求1所述的自愈式金属化薄膜制备装置，其特征在于：所述方阻检测机构包括第二支撑座、第一气动杆、第二气动杆、第一压板、探头机构以及第三支撑座，所述第二支撑座平行置于所述第一支撑座的底部，所述第二支撑座的表面两侧边处分别垂直设有所述第一压板，所述第一压板用以压紧所述金属化薄膜主体，所述第二支撑座的表面中心处滑动嵌入有所述第三支撑座，所述第三支撑座的表面设有所述探头机构，所述探头机构用以检测所述金属化薄膜主体的方阻，所述探头机构通过数据线电性连接方形电阻测量仪，所述第二支撑座的底面连接有第一气动杆，所述第三支撑座的底面连接有第二气动杆，所述第一压板的表面设有刀刃条，所述第一支撑座的底面开有与刀刃条配合的凹槽结构，两个所述刀刃条之间的距离与所述金属化薄膜主体的镀层宽度相同，所述刀刃条用以切割出正方形的样品薄膜。

3.根据权利要求2所述的自愈式金属化薄膜制备装置，其特征在于：所述第一压板、第一支撑座以及所述第二支撑座之间均相互平行设置，所述第一压板的高度与所述探头机构的高度相同，所述第一压板的截面呈倒L型。

4.根据权利要求3所述的自愈式金属化薄膜制备装置，其特征在于：所述探头机构包括固定板、探针、第二压板以及粘黏层，所述固定板设于所述第二支撑座的表面，所述固定板的表面垂直设有2或4个所述探针，所述第二压板置于所述探针的顶端，所述第二压板平行设于所述固定板的顶部，所述第二压板的内部与所述探针相对分布的穿孔，每个所述探针均固定伸入于相对的所述穿孔内，所述第二压板的顶面、所述探针的顶端以及所述第一压板的顶面均处于同一高度，所述第二压板的表面胶合有所述粘黏层。