[发明专利]用于固定基板的真空系统

权利要求书

1.一种用于固定基板(1)的真空系统，包括：抽吸管线(4)，构造成接收和传输至少一个基板(1)的传送带(2)，其中所述传送带(2)设置有多个穿孔(5)，其中所述真空系统构造成通过所述穿孔(5)朝向所述抽吸管线(4)的内部产生流体抽吸，产生至少一个基板(1)到所述传送带(2)的固定力，每个穿孔(5)配备有固定到所述传送带(2)的阀(8)，所述阀允许打开和关闭所述穿孔(5)，分别允许和阻止流体流通过所述穿孔(5)，并且，其特征在于，在所述传送带(2)的被应用抽吸位置的区域中，所述阀(8)包括构造用于当没有基板(1)位于所述相应的穿孔(5)上时允许关闭所述阀(8)的机构。

2.根据权利要求1所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述真空系统包括至少一个支撑隔板(20)，用于在所述传送带(2)移位时引导和支撑它，所述支撑隔板(20)布置为形成至少一个抽吸腔(10)，所述抽吸腔连接所述传送带(2)和所述抽吸管线(4)之间的流体的抽吸。

3.根据权利要求1或2所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述真空系统包括穿孔板(6)，所述穿孔板(6)布置成使所述抽吸流体在所述传送带(2)和所述抽吸管线(4)之间通过，并且视情况布置在抽吸腔(10)和抽吸管线(4)之间。

4.根据权利要求1或2所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述真空系统包括沿着所述抽吸管线(4)的至少一个区域(13)的阀(8)打开装置(12)，其中所述打开装置(12)构造成迫使所述阀(8)处于打开位置。

5.根据权利要求4所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述打开装置(12)是凸轮，所述凸轮构造成在所述阀(8)的突起(9)上产生推力，从而迫使所述阀(8)处于打开位置。

6.根据权利要求1或2所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述阀(8)包括自动关闭机构，所述自动关闭机构构造成当没有基板(1)定位在相应的穿孔(5)上时允许关闭所述阀(8)。

7.根据权利要求6所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，允许关闭所述阀(8)的自动关闭机构的构造包括引导件，所述引导件允许阀(8)自由运动，使得当没有基板(1)布置在相应的穿孔(5)上方时，所述阀(8)被所述引导件移动并且通过所述真空系统的抽吸本身被关闭。

8.根据权利要求6所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，允许关闭所述阀(8)的自动关闭机构的构造包括至少一个弹簧，其迫使所述阀(8)处于打开和/或关闭位置。

9.根据权利要求1至2中的任一项所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述阀(8)包括至少一个命令关闭机构，所述命令关闭机构构造成在没有基板(1)定位在相应的穿孔(5)上方时关闭所述阀(8)。

10.根据权利要求9所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述真空系统包括所述至少一个基板(1)在所述传送带(2)上的位置的检测子系统，其中，所述检测子系统构造成将指示所述至少一个基板(1)的位置的命令发送到命令关闭机构，以关闭在其上没有配置基板(1)的多个穿孔(5)中的阀(8)。

11.根据权利要求10所述的用于固定基板(1)的真空系统，其特征在于，所述命令关闭机构配置成沿着所述传送带(2)的至少一个特定的纵向区段覆盖所述传送带(2)的整个宽度，使得所述命令关闭机构构造成，在从所述检测子系统接收指令之前，关闭在所述传送带(2)的所述至少一个特定纵向区段中并且在所述传送带(2)的整个宽度上的所有的阀(8)。