[发明专利]用于托盘的磁铁夹有效
申请号: | 202011311683.4 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN113122815B | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 禹昌远;李二均 | 申请(专利权)人: | ULVAC韩国股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人: | 谢明晖 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 托盘 磁铁 | ||
1.一种用于托盘的磁铁夹,其用于相互固定可支撑基板下侧的下部托盘和可支撑基板上侧的上部托盘,其特征在于,
包括:
夹子底座,其固定在所述下部托盘;
夹头,其可旋转地连接到所述夹子底座,并能够在固定所述上部托盘的固定位置与从所述上部托盘释放的释放位置之间转换位置;
夹轴,其安装在所述夹子底座,并可支撑所述夹头;
接触部,其安装在所述夹头的端部,并可加压所述上部托盘的上面;
底座外壳,其固定在所述夹子底座;
底座磁铁,其安装在所述底座外壳;
头部外壳,其固定在所述夹头;以及
头部磁铁,其安装在所述头部外壳,并以不同的极性面对所述底座磁铁。
2.根据权利要求1所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
当所述接触部接触到所述上部托盘的上面并进行加压时,所述底座外壳及头部外壳彼此隔开。
3.根据权利要求2所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
当所述夹头在所述固定位置及释放位置之间进行位置转换时,所述夹头不接触所述夹子底座或底座外壳。
4.根据权利要求1所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述接触部,包括:
第一紧固构件,其包括面对所述上部托盘的紧固头和从所述紧固头的中心部突出形成并贯通所述夹头的紧固体;以及
第二紧固构件,其用于将所述第一紧固构件固定到所述夹头。
5.根据权利要求4所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述接触部,还包括:
衬垫,其被设置在所述第一紧固构件的紧固头与所述夹头之间,并当所述夹头处于所述固定位置时在所述底座外壳和头部外壳之间设置间隔。
6.根据权利要求1所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述接触部,包括:
衬垫,其可沿所述夹头螺纹连接,并其内侧具有中空空间;
第一紧固构件,其面对所述上部托盘,并可螺纹连接到所述衬垫的中空空间;以及
第二紧固件,其以所述夹头为基准被设置在所述第一紧固构件的相对侧,并可螺纹连接到所述衬垫,
所述衬垫可以相对于所述夹头移动。
7.根据权利要求1所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述底座外壳形成为多个,从而以所述夹头为中心对称。
8.根据权利要求1所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述底座外壳具有用于容纳所述底座磁铁的中空区域。
9.根据权利要求8所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述底座外壳的中空区域形成为在与面对所述头部磁铁的一侧相反的方向上开口。
10.根据权利要求9所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述底座外壳,包括:
底座盖,其用于在所述中空区域容纳所述底座磁铁的状态下,闭合所述中空区域的开口。
11.根据权利要求10所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
所述底座外壳包括用于固定所述底座盖的盖固定构件。
12.根据权利要求1所述的用于托盘的磁铁夹,其特征在于,
还包括:
轴固定构件,其用于将所述夹轴固定在所述夹子底座。
13.一种用于托盘的磁铁夹,其用于相互固定可支撑基板下侧的下部托盘和可支撑基板上侧的上部托盘,其特征在于,
包括:
夹子底座,其固定在所述下部托盘;
夹头,其可旋转地连接到所述夹子底座,并能够在固定所述上部托盘的固定位置与从所述上部托盘释放的释放位置之间转换位置;
底座外壳,其固定在所述夹子底座;
底座磁铁,其安装在所述底座外壳;
头部外壳,其固定在所述夹头;以及
头部磁铁,其安装在所述头部外壳,并以不同的极性面对所述底座磁铁,
当所述夹头在所述固定位置及释放位置之间进行位置转换时,所述夹头不接触所述夹子底座或底座外壳。
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