[发明专利]检测系统和检测方法在审

专利信息
申请号: 202011312617.9 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN112635343A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 陈鲁;李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎 申请(专利权)人: 深圳中科飞测科技股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/677
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 邵泳城
地址: 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 检测 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种检测系统,其特征在于,包括:

承载装置,所述承载装置用于承载待检测件,所述承载装置设有贯穿孔,所述待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面;及

探测装置,所述探测装置包括第一检测单元和第二检测单元,所述第一检测单元和所述第二检测单元设置在所述承载装置的相背两侧,所述第一检测单元与所述第一待检面相对,所述第二检测单元与所述第二待检面相对,所述第二检测单元用于对所述第二待检面中与所述贯穿孔对应的第一待检区域进行检测处理,所述第一检测单元用于对所述第一待检面中的第二待检区域进行检测处理,所述第一待检区域与所述第二待检区域位置对应。

2.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述承载装置包括用于承载所述待检测件的承载面,所述第一检测单元的光轴与所述承载面垂直,所述第二检测单元的光轴与所述承载面垂直,且所述第一检测单元的光轴与所述第二检测单元的光轴重叠。

3.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述贯穿孔的直径的取值范围为[10毫米,40毫米];和/或,

所述贯穿孔为多个,多个所述贯穿孔相对所述承载件的中心均匀分布。

4.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述承载装置包括:

承载件,所述承载件包括承载面及设置在所述承载件的气路,所述承载面包括第一区域及环绕所述第一区域的第二区域,所述气路用于抽气以将所述待检测件吸附在所述第一区域,所述承载件与所述第一区域对应的部分设有多个所述贯穿孔;

压紧组件,所述压紧组件用于将所述待检测件压紧在所述第二区域;及

驱动件,所述驱动件与所述压紧组件连接,并用于驱动所述压紧组件相对所述承载件移动以选择性地压紧或释放所述待检测件。

5.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述压紧组件包括:

与所述第二区域对应的压环,所述压环与所述驱动件连接,所述驱动件用于驱动所述压环相对所述承载件移动,以能够将所述待检测件压紧在所述第二区域;

压块,所述压块安装在所述压环的第一面,用于将所述待检测件压紧在所述第二区域,所述第一面与所述承载面相对;所述压块呈环形,并与所述第二区域对应;或所述压块包括多个,多个所述压块绕所述压环的中心均匀分布。

6.根据权利要求5所述的检测系统,其特征在于,所述承载装置还包括:

第一检测器,所述第一检测器设置在所述压环,所述第一检测器用于发出检测信号,并根据被反射回的检测信号输出检测结果,所述检测结果包括所述承载面是否承载有所述待检测件、及在所述承载面承载有所述待检测件时,所述待检测件是否放置在预设位置。

7.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述气路包括设置在所述第一区域的多个凹槽及与所述凹槽连通的气孔,所述气孔用于与抽气单元连通;或

所述气路包括设置在所述第一区域的多个凹槽、与所述凹槽连通的连通槽和气孔,所述凹槽通过所述连通槽和所述气孔与抽气单元连通。

8.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述承载件还包括:

本体;及

承载部,所述承载部设置在所述本体的第一侧,所述承载面位于所述承载部远离所述本体的一侧,所述驱动件安装在所述本体上;所述承载部设置有贯穿所述承载部的侧壁的开口,所述第一侧为所述第一检测单元所在的一侧。

9.根据权利要求8所述的检测系统,其特征在于,所述检测系统还包括上料装置、第二检测器及检位部,所述第二检测器设置在所述上料装置上,所述检位部设置在所述本体,所述第二检测器与所述检位部配合,并共同用于检测所述开口是否与所述上料装置对准,所述上料装置用于在与所述开口对准时将所述待检测件放置在所述承载面。

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