[发明专利]双读头光学尺球杆及其测量值处理方法在审
申请号: | 202011312866.8 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN114518068A | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | 雷卫台 | 申请(专利权)人: | 微正股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/14 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双读头 光学 球杆 及其 测量 处理 方法 | ||
1.一种双读头光学尺球杆,其特征在于,包含:
一第一光栅尺;
一第二光栅尺;
一第一读头,从该第一光栅尺读出一第一测量值;以及
一第二读头,从该第二光栅尺读出一第二测量值;
其中,该第一光栅尺、该第二光栅尺、该第一读头及该第二读头有一设置安排,使该第一测量值中的一第一阿贝误差与该第二测量值中的一第二阿贝误差间有一已知关系。
2.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,还包含:
一第一组件,设置有该第一光栅尺与该第一读头;以及
一第二组件,设置有该第二光栅尺与该第二读头,与该第一组件相互线性导引。
3.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,还包含:
一尺组件,设置有该第一光栅尺与该第二光栅尺;以及
一读头组件,设置有该第一读头与该第二读头,与该尺组件相互线性导引。
4.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,该第一光栅尺与该第二光栅尺是相互平行或是垂直设置。
5.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,该第一阿贝误差与该第二阿贝误差正负号相反。
6.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,该已知关系为一比例关系、一高次函数关系或一正弦及余弦函数关系。
7.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,该双读头光学尺球杆与一拘束器连接,该拘束器拘束该双读头光学尺球杆的自旋。
8.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,该双读头光学尺球杆应用于一平行机构六维测量装置。
9.如权利要求1所述的双读头光学尺球杆,其特征在于,该第一光栅尺及该第二光栅尺是相对式或是绝对式。
10.一种双读头光学尺球杆测量值处理方法,其特征在于,包含:
一第一测量值取得步骤,以一第一读头读出一第一测量值,该第一测量值中包含一第一阿贝误差;
一第二测量值取得步骤,以一第二读头读出一第二测量值,该第二测量值中包含一第二阿贝误差,且该第一阿贝误差及该第二阿贝误差间有一已知关系;以及
一测量值处理步骤,依该已知关系处理该第一测量值及该第二测量值,得出正确的一测量值。
11.如权利要求10所述的双读头光学尺球杆测量值处理方法,其特征在于,于该测量值处理步骤中,该已知关系为一比例关系、一高次函数关或是一正弦及余弦函数关系。
12.如权利要求10所述的双读头光学尺球杆测量值处理方法,其特征在于,于该测量值处理步骤中,由该双读头光学尺球杆实际的中心距离及倾斜角得出一比例值,依该比例值处理该第一测量值及该第二测量值,得出正确的该测量值。
13.如权利要求10所述的双读头光学尺球杆测量值处理方法,其特征在于,于该测量值处理步骤中,由该双读头光学尺球杆实际的中心距离及倾斜角得出一最大阿贝误差,依该最大阿贝误差处理该第一测量值及该第二测量值,得出正确的该测量值。
14.如权利要求10所述的双读头光学尺球杆测量值处理方法,其特征在于,于该测量值处理步骤中,由该双读头光学尺球杆实际的自旋角,处理该第一测量值及该第二测量值,得出正确的该测量值。
15.如权利要求14所述的双读头光学尺球杆测量值处理方法,其特征在于,于该测量值处理步骤中,由一拘束器的一拘束条件,得出该双读头光学尺球杆的自旋角。
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