[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，其通过投影光学系统对往第1方向移动中的物体相对于照明光进行扫描曝光，所述曝光装置具备：

第1移动体，其配置在所述投影光学系统的下方并保持所述物体；

基准构件，其成为所述第1移动体在与所述投影光学系统的光轴正交的既定平面中移动的基准；

第1驱动部，其在所述既定平面内彼此正交的第1方向、第2方向上使所述第1移动体移动；

第2移动体，其相对于由所述第1驱动部造成的所述第1移动体的移动而并进移动；

测量部，其测量第1信息、第2信息、第3信息、第4信息，其中所述第1信息为所述第2移动体相对于所述基准构件在所述第1方向上的相对位置信息，所述第2信息为所述第2移动体相对于所述基准构件在所述第2方向上的相对位置信息，所述第3信息为所述第1移动体相对于所述第2移动体的相对位置信息，所述第4信息为根据所述第1信息、所述第2信息、以及所述第3信息为所述第1移动体相对于所述基准构件的相对位置信息；以及

第2驱动部，其在所述测量部测量所述第1信息、所述第2信息、以及所述第3信息时，在所述第1移动体通过所述第1驱动部朝向所述第1方向移动时，使所述第2移动体于所述第1方向上移动，且在在所述第1移动体通过所述第1驱动部朝向所述第2方向移动时，使所述第2移动体于所述第2方向上移动；

所述第1驱动部根据所述测量部测量的所述第4信息，使所述第1移动体于所述既定平面内移动。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，

所述测量部具有第1测量部，其测量所述第1信息与所述第2信息；

所述第1测量部具有：

第1格子构件，其具有多个格子区域，且沿著所述第1方向设置在所述基准构件上；

第1读头，其於所述第1格子构件上移動，且相对于所述第2移动体的於所述第1方向上的移动而并进移动，並對所述第1格子构件照射第1测量光束；

第2格子构件，其具有多个格子区域，其相对于所述第2移动体的於所述第1方向上的移动而并进移动；以及

第2读头，其通過所述第2移动体的朝向所述第2方向的移动，一边於所述第2格子构件上移動，一边對所述第2格子构件照射第2测量光束；

所述第1读头设置于所述第2格子构件；

所述第2读头设置于所述第2移动体。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，

所述第1格子构件具有在所述第2方向彼此分离，且在所述基准构件具有沿所述第1方向设置的多个格子区域的第1构件与第2构件；

所述第1读头在所述第1构件上沿所述第1方向移动；

所述第2格子构件架设于所述第1构件与所述第2构件之间，并与所述第1读头的移动并进移动；

所述第2读头在所述第2格子构件上沿所述第2方向移动；

所述第1测量部自所述第1读头对所述第1构件照射所述第1测量光束以测量所述第1读头相对于所述基准构件的在所述第1方向上的相对位置信息亦即第5信息、自所述第2读头对所述第2格子构件照射所述第2测量光束以测量所述第2读头相对于所述第2格子构件的在所述第2方向上的相对位置信息亦即第6信息，并根据所述第5信息及所述第6信息测量所述第1信息及所述第2信息。

4.根据权利要求2或3所述的曝光装置，其中，

所述测量部具有第2测量部，其测定所述第1信息及所述第2信息；

所述第2测量部将所述第1测量部及所述投影光学系统分隔开地设置。