[发明专利]基于激光加工技术的自供能柔性液滴传感器的制备工艺

权利要求书

1.基于激光加工技术的自供能柔性液滴传感器的制备工艺，其特征在于：所述的具体工艺步骤为：步骤一、基于光热效应，利用脉冲激光在聚酰亚胺膜表面产生多孔石墨烯指叉电极；

步骤二、将溶液混合比为10:1的聚二甲基硅氧烷溶液充分搅拌均匀，在真空中去除气泡，将步骤一中制备的多孔石墨烯指叉电极固定在旋涂仪上，随后，将聚二甲基硅氧烷溶液浇注在样品表面，静置2分钟，调整旋涂仪的转速180-220 rpm，时间为5-8秒；将转速增加到90-1100 rpm，时间为3-8秒，将样品移入烘箱中烘烤18-22分钟；

步骤三、多次重复步骤二精确控制旋涂的聚二甲基硅氧烷厚度为100-500微米；

步骤四、将步骤三中所制备的样品放置于烘箱中烘烤1小时，以充分固化聚二甲基硅氧烷；

步骤五、将聚二甲基硅氧烷薄膜从聚酰亚胺基底上剥离，可将图案化的多孔石墨烯转移到聚二甲基硅氧烷薄膜A面上；

步骤六、最后，利用脉冲激光在步骤五中所得到的样品B面上交叉扫描产生超疏水结构。

2.根据权利要求1所述的基于激光加工技术的自供能柔性液滴传感器的制备工艺，其特征在于：所述的步骤一中激光加工的能量密度为：8.0-8.8 J/cm², 扫描速度为：95-110mm/s。

3.根据权利要求1所述的基于激光加工技术的自供能柔性液滴传感器的制备工艺，其特征在于：所述的步骤六中脉冲激光的扫描的能量密度为：5.3-5.8 J/cm², 扫描速度为：380-420mm/s，扫描间距为90-110微米。