[发明专利]正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜在审
申请号: | 202011316419.X | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN112987498A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 申佳姬;李廷和;罗钟昊;许槿 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;徐鑫 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光敏 树脂 组合 制备 固化 | ||
本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述组合物包含具有特定结构单元的硅氧烷共聚物。因此,由所述组合物形成的固化膜可以实现低的图案边缘角,从而在不使此类物理特性(如膜保留率和敏感性)恶化的情况下增强分辨率。
技术领域
本发明涉及一种能够形成在膜保留率和分辨率方面优异的固化膜的正型光敏树脂组合物,以及一种由其制备的待用于有机发光显示装置的像素限定层的固化膜。
背景技术
一般来说,需要较少加工步骤的正型光敏树脂组合物广泛用于液晶显示装置、有机发光显示装置等中。
然而,使用常规正型光敏树脂组合物的平坦化膜或显示元件具有比使用负型光敏树脂组合物的平坦化膜和显示元件更慢的敏感性。因此,前者的敏感性需要改进。
同时,常规正型光敏树脂组合物通常包含作为粘合剂树脂的碱溶性树脂(如硅氧烷聚合物和丙烯酸类聚合物)连同光敏剂(如基于醌二叠氮(quinonediazide)的化合物、芳族醛等)(参见日本公开专利公开号1996-234421)。
然而,当使用此种正型光敏树脂组合物形成固化膜时,在显影步骤期间由显影剂引起的固化膜厚度损失率是大的,并且实现足够令人满意的膜保留率、分辨率等存在限制。
同时,有机发光显示装置的层间绝缘层或像素限定层必须具有相对低的孔图案边缘角。如果孔图案的边缘角过高,则图案上形成的金属层中可能出现裂缝或短路,使得当驱动装置时过大的电阻可能施加到图案边缘上。
具体实施方式
技术问题
因此,本发明旨在提供一种能够形成在膜保留率和分辨率方面优异同时维持低的图案边缘角的固化膜的正型光敏树脂组合物,以及一种由其制备的待用于有机发光显示装置的像素限定层或层间绝缘层的固化膜。
问题的解决方案
为了实现以上目的,本发明提供了一种正型光敏树脂组合物,其包含:(A)包含由以下式1表示的结构单元和由以下式2表示的结构单元的硅氧烷共聚物;和(B)光活性化合物;以及(C)溶剂。
在式1和2中,R1、R2和R3各自独立地是C1-12烷基、C2-10烯基、C6-15芳基、3元至12元杂烷基、4元至10元杂烯基、或6元至15元杂芳基,R1、R2和R3中的至少一个是C6-15芳基,并且所述杂烷基、所述杂烯基、和所述杂芳基各自独立地含有至少一个选自由N、O和S组成的组的相同或不同的杂原子;R4各自独立地是氢、C1-6烷基、C2-6酰基、或C6-15芳基;并且m和n是所述结构单元的摩尔分数,其满足0.25≤m≤0.63,0.37≤n≤0.75,并且m+n=1。
为了实现另一个目的,本发明提供了一种由所述光敏树脂组合物制备的固化膜。
本发明的有利效果
根据本发明的正型光敏树脂组合物包含具有特定结构单元的硅氧烷共聚物。因此,由所述组合物形成的固化膜可以实现低的图案边缘角,从而在不使此类物理特性(如膜保留率和敏感性)恶化的情况下增强分辨率。
附图说明
图1示出了通过扫描电子显微镜在实例1至6和对比实例1至3中获得的固化膜的表面上形成的图案中的10μm-孔的横截面的每张照片。
进行本发明的最佳模式
本发明不受限于下面描述的那些。相反,只要不改变本发明的主旨,可以将其修改为各种形式。
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