[发明专利]一种用于工艺炉的集成温控装置及集成温控方法在审

专利信息
申请号: 202011316816.7 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN112284152A 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 齐青;何绿泉;冯保义 申请(专利权)人: 苏州博能炉窑科技有限公司
主分类号: F27D19/00 分类号: F27D19/00
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 杨敏
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 工艺 集成 温控 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于工艺炉的集成温控装置,所述工艺炉内设有多个温区,其特征在于,所述集成温控装置包括主控装置以及多个PID控制装置,所有PID控制装置均与主控装置电连接,所述PID控制装置与所述温区数量相同且一一匹配,用于对各个温区进行温控;

所述PID控制装置包括:

高精度温度传感器,设于所述温区中,用于采集所述温区的实际温度;

第一PID控制器,与所述高精度温度传感器电连接,用于根据所述温区的实际温度、所述温区的设定温度两者来输出所述温区的温控信号;

以及加热器控制装置,与所述第一PID控制器电连接,用于根据所述温控信号来控制所述温区中的加热器工作。

2.根据权利要求1所述的用于工艺炉的集成温控装置,其特征在于,所述PID控制装置为串级PID控制装置,所述串级PID控制装置包括第二PID控制器,所述第一PID控制器与所述第二PID控制器电连接。

3.根据权利要求1所述的用于工艺炉的集成温控装置,其特征在于,所述PID控制装置还包括:

参数设定装置,与所述第一PID控制器电连接,用于用户自行设定各组控制参数。

4.根据权利要求3所述的用于工艺炉的集成温控装置,其特征在于,所述PID控制装置为前馈补偿PID控制装置。

5.根据权利要求3所述的用于工艺炉的集成温控装置,其特征在于,所述PID控制装置为微分先行PID控制装置。

6.根据权利要求1所述的用于工艺炉的集成温控装置,其特征在于,所述主控装置包括协同控制装置,所述协同控制装置与所有PID控制装置电连接,用于控制两个以上所述PID控制装置协同工作。

7.根据权利要求1所述的用于工艺炉的集成温控装置,其特征在于,所述集成温控装置还包括:

报警装置,与所述主控装置电连接,用于在各温区温度不均衡时进行报警提示。

8.根据权利要求1所述的用于工艺炉的集成温控装置,其特征在于,所述集成温控装置还包括:

数据记录装置,与所述主控装置电连接,用于记录温控数据。

9.一种用于工艺炉的集成温控方法,其特征在于,所述集成温控方法基于如权利要求1至8任一项所述的集成温控装置,包括步骤:

步骤b:采集温区的实际温度;

步骤c:根据所述温区的实际温度、所述温区的设定温度两者来输出所述温区的温控信号;

步骤d:根据所述温控信号来控制所述温区中的加热器工作。

10.根据权利要求9所述的用于工艺炉的集成温控方法,其特征在于,所述方法还包括:

步骤a:控制两个以上所述PID控制装置协同工作。

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