[发明专利]一种显示高纯铝金相的方法在审

专利信息
申请号: 202011317843.6 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN112485084A 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 岳晓聪;余飞;黄宇彬;童培云;朱刘;吴彩红 申请(专利权)人: 先导薄膜材料(广东)有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34;C23F1/20
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 显示 高纯 金相 方法
【权利要求书】:

1.一种显示高纯铝金相的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

(1)取样,将样品的表面车平;

(2)依次用粒度逐渐较小的水性砂纸进行研磨;

(3)采用比步骤(2)中粒度更小的水性砂纸进行精磨,所述精磨以无水乙醇作为冷却液;

(4)将精磨后的样品表面进行抛光;

(5)将抛光后的样品表面进行化学腐蚀,再用清洗剂进行清洗,干燥。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,每次研磨的转速为350-450r/min;所述步骤(3)中,精磨的转速为300~500r/min。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(2)和所述步骤(3)中进行研磨时,同一面相邻两次研磨的方向垂直;每次研磨都直至样品表面平整,看不见上一次车过或研磨的痕迹。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(3)中,精磨后样品表面平整,没有肉眼可见的划痕,且出现镜面。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所用水性砂纸依次为1000#、1500#、2000#、3000#水性砂纸;所述步骤(3)中,所用水性砂纸为5000#水性砂纸。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,1000#水性砂纸每面的研磨时间为4~6min,1500#水性砂纸每面的研磨时间为4~6min,2000#水性砂纸每面的研磨时间为1~3min,3000#水性砂纸每面的研磨时间为5~7min;所述步骤(3)中,每面的研磨时间为4~8min。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述化学腐蚀采用的腐蚀剂为氢氟酸、硝酸和盐酸的混合物,其中氢氟酸、硝酸和盐酸的体积比为氢氟酸:硝酸:盐酸=1:4~6:9~10,氢氟酸中HF的质量浓度为40~49%,硝酸中HNO3的质量浓度为60~68%,盐酸中HCl的质量浓度为60~68%。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述化学腐蚀采用的腐蚀剂为氢氟酸、硝酸和盐酸的混合物,其中氢氟酸、硝酸和盐酸的体积比为氢氟酸:硝酸:盐酸=1:5:10,氢氟酸中HF的质量浓度为49%,硝酸中HNO3的质量浓度为68%,盐酸中HCl的质量浓度为68%。

9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在进行所述化学腐蚀时,腐蚀剂被滴加到样品的表面10~20s后,再用清洗剂清洗。

10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,经所述车平处理后的样品表面平整,具有金属光泽,表面粗糙度<0.4μm;所述步骤(4)中,抛光剂的粒度不大于1μm,抛光转速为300~500r/min,抛光时间为3~5min。

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