[发明专利]一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置

权利要求书

1.一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于，所述装置包括：

设置在所述硅片的不同直径方向上的至少两个卡爪对，每个卡爪对能够在与所述硅片的周缘接触以夹持所述硅片的夹持位置与离开所述硅片的周缘以松开所述硅片的松开位置之间移动；

用于保持所述至少两个卡爪对的保持架，所述保持架设置有用于引导所述卡爪对在所述夹持位置与所述松开位置之间移动的移动引导部；

用于每个卡爪对的弹性复位构件，当所述卡爪对处于所述松开位置时，所述弹性复位构件产生将所述卡爪对复位至所述夹持位置的弹性回复力；

与所述硅片的中心轴线同轴设置的凸轮，所述中心轴线与所述硅片所处平面垂直，所述凸轮具有长轴和短轴；

驱动机构，所述驱动机构用于使所述至少两个卡爪对与所述凸轮之间产生绕所述中心轴线的相对旋转运动，使得每个卡爪对能够处于与所述凸轮的长轴对准的第一相对位置以及与所述凸轮的短轴对准的第二相对位置，在所述第一相对位置中，所述凸轮抵抗所述弹性复位构件产生的弹性回复力将所述卡爪对保持在所述松开位置，在所述第二相对位置中，所述凸轮不对所述卡爪对产生作用，

其中，所述至少两个卡爪对中的一个卡爪对处于所述松开位置时，其他卡爪对处于所述夹持位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述凸轮在平行于所述硅片的平面中的截面呈椭圆形。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述至少两个卡爪对在所述硅片的周向方向上均匀分布。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述至少两个卡爪对固定不动，所述驱动机构驱动所述凸轮绕所述中心轴线相对于所述至少两个卡爪对旋转。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述凸轮固定不动，所述驱动机构驱动所述至少两个卡爪对绕所述中心轴线相对于所述凸轮旋转。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述凸轮的长轴的延伸长线与照亮所述硅片的周缘的光束相交。

7.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述弹性复位构件包括用于每个卡爪对的每个卡爪半部的螺旋弹簧，所述螺旋弹簧的第一端部固定连接至所述保持架，所述螺旋弹簧的第二端部固定连接至所述卡爪半部。

8.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，每个卡爪对的每个卡爪半部设置有滚轮随动件，所述滚轮随动件构造成在所述至少两个卡爪对与所述凸轮相对旋转运动的过程中在所述凸轮的表面滚动。

9.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，每个卡爪对的每个卡爪半部包括杆部和抵接部，所述杆部平行于所述硅片延伸，所述抵接部设置在所述杆部的径向向外的端部处并且垂直于所述杆部延伸以在所述卡爪对处于所述夹持位置中时与所述硅片的边缘接触。