[发明专利]一种自驱动MSM紫外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种自驱动MSM紫外探测器，包括：

衬底；

设置在所述衬底表面的图形化低温结晶层，所述图形化低温结晶层的材料为纤锌矿结构的氮化物，所述图形化低温结晶层的形成温度为300～950℃；

设置在所述图形化低温结晶层表面和衬底表面未覆盖图形化低温结晶层区域的高温外延层，所述高温外延层的材料为纤锌矿结构的氮化物，所述高温外延层的形成温度为1000～1200℃；设置于所述图形化低温结晶层上的高温外延层为金属极性，设置于所述衬底表面未覆盖图形化低温结晶层区域上的高温外延层为氮极性；

设置在所述高温外延层上的插指电极；所述插指电极由两组电极组成，一组电极设置于所述高温外延层的金属极性区域，另一组电极设置于所述高温外延层的氮极性区域。

2.根据权利要求1所述的自驱动MSM紫外探测器，其特征在于，所述衬底为蓝宝石衬底。

3.根据权利要求1所述的自驱动MSM紫外探测器，其特征在于，所述图形化低温结晶层的材料为AlN或GaN。

4.根据权利要求1所述的自驱动MSM紫外探测器，其特征在于，所述图形化低温结晶层的厚度为10～100nm。

5.根据权利要求1所述的自驱动MSM紫外探测器，其特征在于，所述高温外延层为单层结构或异质结结构；

所述高温外延层的材料选择GaN、AlN和Al_xGa_1-xN中的一种或多种，0＜x＜1。

6.根据权利要求1所述的自驱动MSM紫外探测器，其特征在于，所述高温外延层的厚度为100nm～10μm。

7.根据权利要求1所述的自驱动MSM紫外探测器，其特征在于，所述插指电极为欧姆电极或肖特基电极。

8.根据权利要求1所述的自驱动MSM紫外探测器，其特征在于，所述插指电极的材料选择Ti、V、Al、Ni、Pt和Au中的一种或多种。

9.一种自驱动MSM紫外探测器的制备方法，包括以下步骤：

a)在衬底表面沉积低温结晶层原料，得到低温结晶层；

所述低温结晶层的材料为纤锌矿结构的氮化物；所述沉积的温度为300～950℃；

b)对所述低温结晶层进行图形化处理，得到表面设置有图形化低温结晶层的衬底；

c)对步骤b)得到的衬底表面进行高温外延生长，得到高温外延层；

所述高温外延层的材料为纤锌矿结构的氮化物，所述高温外延生长的温度为1000～1200℃；

在所述图形化低温结晶层上外延得到的高温外延层为金属极性，在所述衬底表面未覆盖图形化低温结晶层区域上外延得到的高温外延层为氮极性；

d)在所述高温外延层上沉积插指电极，得到自驱动MSM紫外探测器；

所述插指电极由两组电极组成，一组电极沉积于所述高温外延层的金属极性区域，另一组电极沉积于所述高温外延层的氮极性区域。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，还包括：对步骤d)得到的制品进行退火处理；

所述退火处理的温度为300～800℃；所述退火处理的时间为30s～10min。